Карта раздела "Оборудование"

Промышленное вакуумное оборудование


Вакуумные насосы и откачные системы
  • Пластинчато-роторные сухие вакуумные насосы
 • Пластинчато-роторные маслонаполненные вакуумные насосы
    - Пластинчато-роторные маслонаполненные насосы производства DVP Vacuum Technology (Италия)
    - Маслонаполненные насосы серии MVP производства Woosung Vacuum (Южная Корея)
    - Пластинчато-роторные насосы и откачные системы на их основе производства компании Ilmvac (Германия)
 • Высокопроизводительные пластинчато-роторные вакуумные насосы с циркуляционной смазкой
 • Пластинчато-роторные вакуумные насосы с циркуляционной смазкой
 • Когтевые вакуумные насосы и компрессоры
    - Серия C-DLR: когтевые компрессоры низкого давления
    - Серия C-KLR: когтевые вакуумные насосы-компрессоры
    - Серия C-VLR: когтевые вакуумные насосы
    - Кулачковый насос РА.155 производства итальянской компании DVP
    - Кулачковый и пластинчато-роторный насосы DVP: вопрос выбора
 • Промышленные винтовые вакуумные насосы
 • Плунжерные (золотниковые) вакуумные насосы
 • Вакуумные водокольцевые насосы
    - Водокольцевые вакуумные насосы Robuschi (Италия)
 • Мембранно-поршневые вакуумные насосы
    - Безмасляные вакуумные насосы/компрессоры с качающимся поршнем и мембранные вакуумные насосы DVP (Италия)
    - Поршневые вакуумные насосы производства Ilmvac (Германия) серии WOB-L и GEMINI
 • Вихревые вакуумные насосы
 • Двухроторные вакуумные насосы (типа Рут)
    - Бустерные насосы
    - Низковакуумные для мобильных применений
    - Откачные системы на базе пластинчато-роторных и двухроторных насосов


Откачные системы для промышленности и медицины
  • Откачные системы с 2 или 3 насосами без уравнительного баллона XC
  • Откачные системы с баком для сбора жидкости CPV
  • Откачные системы центрального вакуума CPA
  • Автоматические вакуумные системы для медицинских учреждений и промышленности Медивак
  • Откачные системы на базе пластинчато-роторных и двухроторных насосов


Мембранно-вакуумные прессы
  • Мембранно-вакуумный пресс MSH VP1424 Econom
  • Мембранно-вакуумный пресс MSH VP1424 Optimum


Системы управления вакуумными установками

Системы холодного вакуумного прессования

Стрелочные вакуумметры и реле вакуума

Уравнительные вакуумные баллоны (вакуумные ресиверы)

Вакуумные шланги

Аксессуары для вакуумных насосов
  • Транспортные кейсы и кофры для оборудования
  • Индикатор засорения выходного фильтра
  • Обратные клапаны
  • Регуляторы потока и вакуумные регуляторы
  • Смазочные масла для вакуумных насосов
  • Фильтры для вакуумных насосов и воздуходувок
  • Шланговые соединения и амортизирующие опоры
  • Автоматы для защиты электродвигателей вакуумных насосов и воздуходувок


Вакуумная техника для исследований и высокотехнологичных производств


Вакуумные насосы и откачные системы
  • Турбомолекулярные насосы и откачные посты
    - Турбомолекулярные насосы
    - Откачные посты на базе турбомолекулярных насосов
 • Вакуумные крионасосы
    - Вакуумные крионасосы SHI Cruogenics (США - Япония)
    - Вакуумные крионасосы для откачки больших потоков ксенона PHPK (США)
  • Спиральные вакуумные насосы
  • Сухие форвакуумные насосы
    - Серия PDV: компактные сухие винтовые вакуумные насосы
    - Серия EV-A: насосы нового поколения с воздушным охлаждением
    - Серия ESA: насосы для работы в условиях высокой газовой нагрузки
    - Серия ESR: очень высокая химическая стойкость деталей
    - Серия EST: стойкость при откачке загрязненных сред
    - Серия EV-S: низкое потребление энергии, высокая корозионная стойкость
    - Серия VOS: компактные габаритные размеры
    - Серия EV-M: новая конструкция для откачки агрессивных сред
  • Мембранные вакуумные насосы
  • Промышленные винтовые насосы
 • Пластинчато-роторные маслонаполненные вакуумные насосы
    - Пластинчато-роторные маслонаполненные насосы производства DVP Vacuum Technology (Италия)
    - Маслонаполненные насосы серии MVP производства Woosung Vacuum (Южная Корея)
    - Пластинчато-роторные насосы и откачные системы на их основе производства компании Ilmvac (Германия)
  • Плунжерные (золотниковые) вакуумные насосы
  • Паромасляные диффузионные насосы
  • Мембранно-поршневые насосы
    - Безмасляные вакуумные насосы/компрессоры с качающимся поршнем и мембранные вакуумные насосы DVP (Италия)
    - Поршневые вакуумные насосы производства Ilmvac (Германия) серии WOB-L и GEMINI
  • Двухроторные вакуумные насосы (типа Рут)
    - Бустерные насосы
    - Низковакуумные насосы для мобильных применений
    - Откачные системы на базе пластинчато-роторных и двухроторных насосов
  • Ионно-гетерные (магниторазрядные) насосы


Установки имитации космоса

Напылительные установки
  • Напылительные установки Polyteknik
  • Напылительные установки HHV
    - HHV Auto306: Универсальная установка для НИОКР
    - HHV Auto500: многофункциональная установка напыления
    - HHV Auto500GB: установка напыления с перчаточным боксом
    - HHV Scancoat Six: настольная установка напыления для электронной микроскопии
    - HHV TF600: установка напыления для лабораторий и производственного оборудования
    - Вакуумные напылительные установки для нанесения покрытий на зеркала телескопов
    - Специализированные напылительные установки Identicoat ID500 и ID750 для проявления отпечатков пальцев
    - Расходные материалы и запчасти
  • Напылительные установки для оптики OptoTech
  • Установки и технологические решения для осаждения тонких пленок и травления


Установки плазменной очистки, травления, активации и снятия фоторезиста
  • Плазма атмосферного давления
  • Плазма низкого давления
    - Atto - low-cost
    - Специализированные установки
    - Femto
    - Femto UHP
    - Nano
    - Nano UHP
    - Pico
    - Pico UHP
    - Tetra-100-LF
    - Tetra-100-LF-PC
    - Tetra-150-LF
    - Tetra-150-LF-PC
    - Tetra-30-LF
    - Tetra-30-LF-PC
    - Zepto-low-cost
  • Принадлежности для плазменных установок
  • Системы управления плазменными установками


Вакуумные системы для химических и биологических лабораторий
  • Вакуумные дистилляционные системы
    - Насосы со встроенным конденсатором паров HBP
    - Роторные испарители ROdist
  • Вакуумные откачные системы с мембранными насосами
    - LVS ecoflex (с частотно регулируемым приводом)
    - LVS economic (экономичное исполнение)
    - LVS standard (стандартное исполнение)
    - LVS manual (с ручным управлением)
    - Каскадные системы с мембранными насосами Univac (высокая производительность)
  •  Многопользовательские вакуумные системы NetVac
  • Системы вакуумной аспирации и фильтрации
    - Biovac и WOB-L
    - Fluivac


Течеискатели
  • Течеискатели гелиевые производства MSH Techno (Россия)
  • Масс-спектрометрический гелиевый течеискатель UL1000
  • Сухой масс-спектрометрический гелиевый течеискатель UL1000Fab
  • Сухой высокопроизводительный масс-спектрометрический гелиевый течеискатель UL5000
  • Компактный масс-спектрометрический течеискатель Modul1000
  • Водородный течеискатель Sensistor ISH2000
  • Наполнитель пробным газом TGF10
  • Система течеискания Sensistor ILS500
  • Наполнитель пробным газом на базе системы течеискания Sensistor ILS500F
  • Взрывобезопасный водородный течеискатель EXTRIMA
  • Водородный течеискатель Sensistor XRS9012
  • Встраиваемый масс-спектрометрический течеискатель LDS 3000
  • Водородный течеискатель Sensistor Sentrac
  • Камера для проверки на герметичность электронных компонентов TC1000
  • Кумулятивный гелиевый течеискатель Pernicka700H
  • Пузырьковые течеискатели
  • Гелиевые течеискатели для работы методом щупа Protec P3000(XL)
  • Мультигазовый масс-спектрометрический течеискатель для работы методом щупа Ecotec E3000
  • Авиационный масс-спектрометрический течеискатель EcotecE3000A
  • Атмосферный промышленный гелиевый течеискатель T-Guard
  • Течеискатель для холодильных агентов HLD6000
  • Блок дистанционного управления течеискателями RC1000 (WL)
  • Пузырьковый течеискатель с вакуумными рамками
  • Аксессуары для течеискателей
  • Системы контроля герметичности с нагревом ( для испытаний ТВЭЛов)


Вакуумные установки по техническим заданиям заказчиков

Вакуумметры и датчики вакуума
  • Вакуумметры Televac (США)
    - Компактные электронные вакуумметры со встроенным дисплеем
      ◊Активный конвекционный вакуумметр MX2A (1000 - 1E-4 Торр)
      ◊Активный конвекционный вакуумметр MX4A (1000 - 1E-4 Торр)
      ◊Конвекционный вакуумметр MP4AR (760 - 1E-3 Торр)
      ◊Магнитные электроразрядные вакуумметры MP7ER и MP7FR (1E-2 - 1E-8 Торр / 1E-2 - 1E-11 Торр)
      ◊Термопарный вакуумметр MP2AR (20 - 1E-3 Торр)
      ◊Широкодиапазонный вакуумметр СС-10 (760 - 1E-9 Торр)
      ◊Электронный ионизационный вакуумметр MP3DR (1E-2 - 1E-10 Торр)
    - Контроллеры (вакуумметры) для работы с пассивными датчиками вакуума
      ◊Вакуумметр MC300 (1E+3 – 1E-11 Торр)
      ◊Вакуумметр термопарный 2A Compact (20 – 1E-3 Торр)
      ◊Вакуумметр термопарный B2A-1-BAT (20 – 1E-3 Торр)
      ◊Вакуумметр термопарный MV2A (20 – 1E-3 Торр)
      ◊Защищенный вакуумметр VacuGuard (20 – 1E-3 Торр)
      ◊Модульный вакуумметр MM200 (10 атм – 1E-11 Торр)
    - Портативые вакуумметры
      ◊Переносной защищенный вакуумметр VacuGuard (20 – 1E-3 Торр)
      ◊Термопарный вакуумметр B2A-1-BAT (20 - 1E-3 Торр)
    - Пассивные датчики вакуума
      ◊Безкорпусной электронный ионизационный датчик ETI 8130 (1E-3 - 2E-11 Торр)
      ◊Компактный полностью металлический электронный ионизационный датчик 3D MINI (1E-2 - 1E-10 Торр)
      ◊Конвекционный датчик 4А (1E+3 - 1E-3 Торр)
      ◊Магнитные электроразрядные датчики 7E/7F (1E-2 - 1E-8 Торр/ 1E-2 - 1E-11 Торр)
      ◊Магнитный электроразрядный датчик 7B2 (1E-3 - 1E-7 Торр)
      ◊Мембранный датчик 1E/F (1 - 1E+3 Торр/ 10 - 1E+4 Торр)
      ◊Миниатюрный термопарный вакуумный датчик VacuMini (20 - 1E-3 Торр)
      ◊Очищаемый датчик быстрого включения с холодным катодом 7FCS (1E-2 - 1E-11 Торр)
      ◊Очищаемый магнитный электроразрядный датчик 7FC (1E-2 - 1E-11 Торр)
      ◊Темопарный датчик 2A (20 - 1E-3 Торр)
      ◊Термопарный миниатюрный датчик для экстремальных условий эксплуатации (20 - 1E-3 Торр)
      ◊Угловой металлический электронный ионизационный датчик (1E-3 - 2E-11 Торр)
      ◊Электронный ионизационный датчик ETI 4336 (1E-3 - 2E-10 Торр)
      ◊Электронный ионизационный датчик, платинированный ETI 8142 (1E-3 - 2E-10 Торр)
      ◊Электронный ионизационный датчик, платинированный с расширенным рабочим диапазоном ETI 8136 (1E-1 - 1E-10 Торр)
  • Вакуумметры Inficon (Лихтенштейн)
    - Мембранно-емкостные вакуумметры
      ◊Мембранно-ёмкостные вакуумметры SKY CDG025D-X3
      ◊Мембранно-ёмкостные вакуумметры SKY CDG025D, CDG025D-S
      ◊Мембранно-ёмкостные вакуумметры SKY CDG045D
      ◊Мембранно-емкостные вакуумметры SKY CDG100D
      ◊Мембранно-ёмкостные вакуумметры SKY CDG160D, CDG200D
      ◊Мембранно-емкостный вакуумметр PCG 55x с датчиком Пирани
    - Комбинированные электронные ионизационные и Пирани вакуумметры
      ◊Комбинированный вакуумметр BPG400 с одним катодом
      ◊Комбинированный вакуумметр BPG402-S с двумя катодами
      ◊Комбинированный мембранно-емкостный вакуумметр BCG450
    - Комбинированный электронный ионизационный, высокого давления и Пирани вакуумметр
    - Измерительный блок вакуумметра Пирани
    - Стандартные датчики вакуума типа Пирани
      ◊Стандартные вакуумметры Пирани PSG55x
      ◊Стандартные вакуумметры Пирани PSG5xx
    - Мембранно-емкостный вакуумметр Porter CDG 020D
    - Вакуумметр Пенинга
    - Комбинированные инверсно-магнетронные и Пирани вакуумметры
    - Контроллеры для датчиков вакуума
    - Реле вакуума
      ◊Реле вакуума VSA100A
      ◊Реле вакуума VSA200, VSD200
      ◊Реле вакуума VSC150A
  • Мембранно-емкостные датчики вакуума Setra (США)
    - Мембранно-емкостные датчики вакуума повышенной точности серии 760
    - Мембранно-емкостные датчики вакуума серии 730
    - Термостатированные мембранно-емкостные датчики вакуума серии 700 - только по акции
  • Вакуумметры Ilmvac (Германия)
    - Переносной комбинированный цифровой вакуумметр PIZA 111 (785 - 10E-3 Торр)
    - Переносной емкостной цифровой вакуумметр PIZA 101 (785 - 1 Торр)
    - Взрывоустойчивый переносной цифровой вакуумметр PIZA 102 ATEX (785 - 1 Торр)
  • Вакуумметры KVC (Ю. Корея)
    - Аналоговый вакуумметр с термопарным датчиком KP 100
    - Вакуумметр с инверсно-магнетронными и конвекционными датчиками KVC 5000
    - Вакуумметр с ионизационными и конвекционными датчиками KVC 900
    - Вакуумметр с конвекционными датчиками KVC 2300
    - Вакуумные датчики типа Пирани
    - Ионизационные вакуумные датчики типа Байярда-Альперта
    - Компактный вакуумметр с цифровым дисплеем KVC 370
    - Компактный вакуумметр с цифровым дисплеем KVC 450
    - Компактный экономичный вакуумметр с цифровым дисплеем KVC 430
    - Конвекционные вакуумные датчики SHIM
    - Многоканальный вакуумметр с конвекционными датчиками KVC 4000
    - Пьезо-мембранные вакуумные датчики (химически стойкие) KVC 700
    - Химически стойкий мембранный вакуумметр KM 700
    - Цифровой вакуумметр с датчиком типа Пирани KP 120
  • Механические стрелочные вакуумметры и реле вакуума


Вакуумные камеры
  • Колпаковые вакуумные камеры
  • Вакуумные камеры для исследования поверхности
  •  Стандартные вакуумные сферические камеры
  •  Стандартные вакуумные камеры D-формы
  •  Стандартные вакуумные цилиндрические камеры
  •  Стандартные вакуумные прямоугольные камеры


Компоненты для вакуумных напылительных установок
  • Измерители и контроллеры на основе кристалла кварца
    - Измеритель Q-Pod на основе кристалла кварца
    - Измеритель толщины и скорости напыления нескольких пленок SQM160
    - Контоллер IC6 напыления тонких пленок
    - Контроллер XTC/3 напыления тонких пленок
    - Контроллер серии SQC310 напыления тонких пленок
    - Плата контроллера SQM242 совместного напыления тонких пленок
  • Эмиссионная спектроскопия электронного возбуждения
  • Вакуумные вводы и датчики на основе кристалла кварца
    - Вращательная головка датчика (RSH)
    - Датчик на 12 кристаллах (Crystal 12)
    - Датчик на 6 кристаллах
    - Двухкристальный датчик Cool Drawer
    - Однокристальный датчик Cool Drawer
    - Рассеивающий датчик
    - Фронтальный двухкристальный датчик
    - Фронтальный однокристальный датчик
    - Фронтальный термостойкий датчик
  • Кварцевые кристаллы
  • Устройство шагового перемещения тиглей
  • Блоки питания для напылительных установок En Technologies


Квадрупольные масс-спектрометры
  • Квадрупольный масс-спектрометр Transpector 2
  • Газоанализатор Transpector CPM
  • Квадрупольный масс-спектрометр Transpector XPR3
  • Квадрупольный масс-спектрометр Transpector XPR3L
  • Газоанализатор QUANTUS LP100
  • Газоанализатор Transpector HPR
  • Система контроля плазменных процессов PPM422
  • Мобильная платформа для масс-спектроскопических исследований
  • ПО FabGuard Explorer для анализа газов
  • Квадрупольный масс-спектрометр Extorr


Фитинги, клапаны, вводы и другие комплектующие для высоковакуумных систем
  • Высоковакуумная арматура, клапаны, комплектующие вводы MDC Vacuum (США)
  • Высоковакуумная арматура, клапаны, затворы HTC (Тайвань)
  • Вакуумные вводы и вакуумная арматура Inficon (Лихтенштейн)
    - Вакуумные вводы
      ◊Вводы для передачи вращательного движения CF
      ◊Вводы для передачи вращательного движения ISO-KF/ISO-K
      ◊Вводы для передачи вращательного/поступательного движения ISO-KF
      ◊Вводы для передачи поступательного движения CF
      ◊Вводы для подачи жидкости ISO-KF/CF-F
      ◊Коаксиальные вводы ISO-KF/CF-F
      ◊Металлокерамические соединения
    - Вакуумная арматура
  • Высоковакуумная арматура, клапаны, фильтры SMC (Япония)
    - Угловые алюминиевые клапаны
    - Угловые клапаны с корпусом из нержавейки для высокого вакуума
    - Высоковакуумные клапаны и фильтры для систем газонапуска
    - Приводы вакуумных камер
    - Газовая арматура AP Tech


Полупроводниковое оборудование


Установки осаждения тонких пленок
 • Установки Polyteknik (Дания)
 • Напылительные установки для оптики Opto Tech
 • Установки и технологические решения для осаждения тонких пленок и травления
 • Напылительные установки HHV
    - HHV Auto306: универсальная установка для НИОКР
    - HHV Auto500: многофункциональная установка напыления
    - HHV Auto500GB: установка напыления с перчаточным боксом
    - HHV Scancoat Six: настольная установка напыления для электронной микроскопии
    - HHV TF600: установка напыления для лабораторий и производственного оборудования
    - Вакуумные напылительные установки для нанесения покрытий на зеркала телескопов
    - Специализированные напылительные установки Identicoat ID500 и ID750 для проявления отпечатков пальцев
    - Расходные материалы и запчасти


Установки для нанесения и сушки/задубливания фоторезиста
 • Установки для нанесения фоторезиста
    - Центрифуга для прецизионного нанесения фоторезиста Cee 200X
    - Промышленная центрифуга для нанесения фоторезиста Cee 300X
 • Установки для сушки/задубливания фоторезиста
    - Шкаф для прецизионной сушки/задубливания фоторезиста Cee 1300X
    - Шкаф для сушки/задубливания фоторезиста Cee 10 (для подложек 300 мм)
    - Шкаф для сушки/задубливания фоторезиста Cee 11 (для подложек 450 мм)


Установки для испытаний микросхем на разряд статического электричества
 • Установки статического электричества Tokyo Electronics (Япония)
 • Установки статического электричества Hanwa electronics (Япония)
 • Установки статического электричества Thermo Fisher (США)


Установки очистки пластин и снятия резиста
 • Плазменная очистка
    - Плазма атмосферного давления
    - Плазма низкого давления
      ◊Atto - low-cost
      ◊Cпециализированные установки
       Tetra-120-LF-PC
       Tetra-12600-LF-PC
       Tetra-2400-LF-PC
       Tetra-500-LF-PC
       Tetra-600-LF-PC
       Tetra-600-LF-PC-D
      ◊Femto
      ◊Femto UHP
      ◊Nano
      ◊Nano UHP
      ◊Pico
      ◊Pico UHP
      ◊Tetra-100-LF
      ◊Tetra-100-LF-PC
      ◊Tetra-150-LF
      ◊Tetra-150-LF-PC
      ◊Tetra-30-LF
      ◊Tetra-30-LF-PC
      ◊Zepto - low-cost
      ◊Ответы на наиболее часто задаваемые вопросы
    - Принадлежности для плазменных установок
    - Системы управления плазменными установками
      ◊Автоматическая
      ◊Компьютерная система управления
      ◊Компьютерная система управления (PCCE)
      ◊Полуавтоматическая


Оборудование для производства солнечных батарей
 • Системы для разработки и производства тонкопленочных изделий
 • Системы производства кристаллических (c-Si) солнечных батарей
 • Системы производства солнечных тонкопленочных батарей (a-Si)


Регуляторы расхода газов
 • Регуляторы расхода газов серии Т1000
 • Регуляторы расхода газов серии Т2000


Скрубберы и установки нейтрализации газообразных отходов
 • Водосорбционные скрубберы
    - Cyclone
    - Cyclone XL
    - Vortex
 • Установки высокотемпературной диссоциации со ступенями влажного скруббирования
    - G5
    - GDC 250
 • Установки динамического окисления со ступенями влажного скруббирования
    - E.DOC - SC
    - S.DOC
    - S.DOC Cyclone
 • Установки термо-динамического окисления со ступенями влажного скруббирования.


Испытательные центрифуги

Озонаторы
 • Генераторы газообразного озона
 • Озонаторы воды


Течеискатели и приборы для проверки на герметичность микросхем и установок
  • Масс-спектрометрический гелиевый течеискатель UL1000
  • Сухой масс-спектрометрический гелиевый течеискатель UL1000Fab
  • Сухой высокопроизводительный масс-спектрометрический гелиевый течеискатель UL5000
  • Компактный масс-спектрометрический течеискатель Modul1000
  • Водородный течеискатель Sensistor ISH2000
  • Наполнители пробным газом TGF10 и TGF11
  • Система течеискания Sensistor ILS500
  • Наполнитель пробным газом на базе системы течеискания Sensistor ILS500F
  • Взрывобезопасный водородный течеискатель EXTRIMA
  • Водородный течеискатель Sensistor XRS9012
  • Встраиваемый масс-спектрометрический течеискатель LDS 3000
  • Водородный течеискатель Sensistor Sentrac
  • Камера для проверки на герметичность электронных компонентов TC1000
  • Кумулятивный гелиевый течеискатель Pernicka700H
  • Пузырьковые течеискатели
  • Гелиевые течеискатели для работы методом щупа Protec P3000(XL)
  • Мультигазовый масс-спектрометрический течеискатель для работы методом щупа Ecotec E3000
  • Авиационный масс-спектрометрический течеискатель EcotecE3000A
  • Атмосферный промышленный гелиевый течеискатель T-Guard
  • Течеискатель для холодильных агентов HLD6000
  • Блок дистанционного управления течеискателями RC1000 (WL)
  • Пузырьковый течеискатель с вакуумными рамками
  • Аксессуары для течеискателей
  • Системы контроля герметичности с нагревом ( для испытаний ТВЭЛов)


Установки термического отжига

Инспекционные установки и микроскопы
 • Оборудование FRT (Германия)
    - The Art of Metrology™ - системы FRT по техусловиям заказчика
    - Атомно-силовая акустическая микроскопия (AFAM)
    - Атомно-силовой микроскоп (AFM)
    - Датчики FRT
      ◊Датчик FTR тонких покрытий
      ◊Хроматический датчик CWL
      ◊Хроматический датчик CWL FT
      ◊Хроматический датчик CWL IR
    - Измерительные системы серии MFE (метрологический входной контроль)
    - Приборы серии MicroGlider®
      ◊MicroGlider®
      ◊MicroGlider® Asphere
    - Приборы серии MicroProf®
      ◊MicroProf® 100
      ◊MicroProf® 200
      ◊MicroProf® 200 TTV MHV
      ◊MicroProf® 300
      ◊MicroProf® 300 MFE
    - Программное обеспечение FRT
      ◊ПО FRT Mark III для анализа
 • Рентгеновский контроль
    - Напольные установки
    - Настольные установки


Оборудование для полировки/шлифовки пластин
 • Оборудование для полупроводниковой промышленности Anda Semicoductor Technology
 • Оборудование для полупроводниковой промышленности Secular Corporation


Компоненты для вакуумных напылительных установок
 • Измерители и контроллеры на основе кристалла кварца
    - Измеритель Q-Pod на основе кристалла кварца
    - Измеритель толщины и скорости напыления нескольких плёнок SQM16O
    - Контроллер IC6 напыления тонких плёнок
    - Контроллер XTC/3 напыления тонких плёнок
    - Контроллер серии SQC31O напыления тонких плёнок
    - Плата контроллера SQM242 совместного напыления тонких плёнок
 • Эмиссионная спектроскопия электронного возбуждения
 • Вакуумные вводы и датчики на основе кристалла кварца
    - Вращательная головка датчика (RSH)
    - Датчик на 12 кристаллах (Crystal 12)
    - Датчик на 6 кристаллах
    - Двухкристальный датчик Cool Drawer
    - Однокристальный датчик Cool Drawer
    - Рассеивающий датчик
    - Фронтальный двухкристальный датчик
    - Фронтальный однокристальный датчик
    - Фронтальный термостойкий датчик
 • Кварцевые кристаллы
 • Устройство шагового перемещения тиглей
 • Блоки питания для напылительных установок En Technologies


Термическое оборудование


Вакуммные печи
 • Вакуумные, вакуумно-водородные печи и печи для работы в контролируемых средах
 • Высокотемпературные печи с композиционными графитовыми нагревателями
 • Ретортные печи
 • Трубчатые печи
 • Вращающиеся печи
 • Индукционные печи
 • Установки быстрого термического отжига (печи с галогеновым нагревом)


Нестандартное термическое оборудование
 • Фокусированные нагреватели
 • Системы высокотемпературных прочностных испытаний
 • Системы контроля герметичности с нагревом (для испытаний ТВЭЛов)
 • Имитаторы солнечного излучения
 • Термо-вакуумные установки обезгаживания и заполнения чистыми газами


Атмосферные печи


Аналитическое и испытательное оборудование


Инспекционные установки и микроскопы
 • Оборудование FRT (Германия)
    - The Art of Metrology™ - системы FRT по техусловиям заказчика
    - Атомно-силовая акустическая микроскопия (AFAM)
    - Атомно-силовой микроскоп (AFM)
    - Датчики FRT
      ◊Датчик FTR тонких покрытий
      ◊Хроматический датчик CWL
      ◊Хроматический датчик CWL FT
      ◊Хроматический датчик CWL IR
    - Измерительные системы серии MFE (метрологический входной контроль)
    - Приборы серии MicroGlider®
      ◊MicroGlider®
      ◊MicroGlider® Asphere
    - Приборы серии MicroProf®
      ◊MicroProf® 100
      ◊MicroProf® 200
      ◊MicroProf® 200 TTV MHV
      ◊MicroProf® 300
      ◊MicroProf® 300 MFE
    - Программное обеспечение FRT
      ◊ПО FRT Mark III для анализа
 • Рентгеновский контроль
    - Напольные установки
    - Настольные установки


Квадрупольные масс-спектрометры
 •Квадрупольный масс-спектрометр Extorr
 •Газоанализатор Transpector® 2
 •Газоанализатор Transpector® XPR3
 •Газоанализатор Transpector® XPR3L
 •Газоанализатор QUANTUS LP100
 •Газоанализатор Transpector® HPR
 •Газоанализатор Transpector® CPM
 •Система контроля плазменных процессов PPM422
 •ПО FabGuard Explorer™ для анализа газов
 •Мобильная платформа


Регуляторы расхода газов
 • Регуляторы расхода газов серии Т1000
 • Регуляторы расхода газов серии Т2000


Климатические камеры

Системы высокотемпературных прочностных испытаний

Камеры для динамических вибрационных испытаний

Рефлектометр для астрономической оптики CT7

Камеры для испытаний температурным ударом


Системы активной виброизоляции
 • Настольные антивибрационные платформы - Серия Micro
 • Серия Nano
 • Эргономичные активные антивибрационные рабочие столы


Течеискатели
Течеискатели и приборы для проверки на герметичность микросхем и установок
  • Масс-спектрометрический гелиевый течеискатель UL1000
  • Сухой масс-спектрометрический гелиевый течеискатель UL1000Fab
  • Сухой высокопроизводительный масс-спектрометрический гелиевый течеискатель UL5000
  • Компактный масс-спектрометрический течеискатель Modul1000
  • Водородный течеискатель Sensistor ISH2000
  • Наполнители пробным газом TGF10 и TGF11
  • Система течеискания Sensistor ILS500
  • Наполнитель пробным газом на базе системы течеискания Sensistor ILS500F
  • Взрывобезопасный водородный течеискатель EXTRIMA
  • Водородный течеискатель Sensistor XRS9012
  • Встраиваемый масс-спектрометрический течеискатель LDS 3000
  • Водородный течеискатель Sensistor Sentrac
  • Камера для проверки на герметичность электронных компонентов TC1000
  • Кумулятивный гелиевый течеискатель Pernicka700H
  • Пузырьковые течеискатели
  • Гелиевые течеискатели для работы методом щупа Protec P3000(XL)
  • Мультигазовый масс-спектрометрический течеискатель для работы методом щупа Ecotec E3000
  • Авиационный масс-спектрометрический течеискатель EcotecE3000A
  • Атмосферный промышленный гелиевый течеискатель T-Guard
  • Течеискатель для холодильных агентов HLD6000
  • Блок дистанционного управления течеискателями RC1000 (WL)
  • Пузырьковый течеискатель с вакуумными рамками
  • Аксессуары для течеискателей
  • Системы контроля герметичности с нагревом ( для испытаний ТВЭЛов)


Установки имитации космоса

Испытательные центрифуги

Лабораторные вакуумные системы
 • Вакуумные дистилляционные системы
    - Насосы со встроенным конденсатором паров HBP
    - Роторные испарители ROdist
 • Вакуумные откачные системы с мембранными насосами
    - LVS ecoflex (с частотно регулируемым приводом)
    - LVS economic (экономичное исполнение)
    - LVS standard (стандартное исполнение)
    - LVS manual (с ручным управлением)
    - Каскадные системы с мембранными насосами Univac (высокая производительность)
 • Системы вакуумной аспирации и фильтрации
    - Biovac и WOB-L
    - Fluivac


Электронная и ионная оптика

Компоненты для вакуумных напылительных установок
 • Измерители и контроллеры на основе кристалла кварца
    - Измеритель Q-Pod на основе кристалла кварца
    - Измеритель толщины и скорости напыления нескольких плёнок SQM16O
    - Контроллер IC6 напыления тонких плёнок
    - Контроллер XTC/3 напыления тонких плёнок
    - Контроллер серии SQC31O напыления тонких плёнок
    - Плата контроллера SQM242 совместного напыления тонких плёнок
 • Эмиссионная спектроскопия электронного возбуждения
 • Вакуумные вводы и датчики на основе кристалла кварца
    - Вращательная головка датчика (RSH)
    - Датчик на 12 кристаллах (Crystal 12)
    - Датчик на 6 кристаллах
    - Двухкристальный датчик Cool Drawer
    - Однокристальный датчик Cool Drawer
    - Рассеивающий датчик
    - Фронтальный двухкристальный датчик
    - Фронтальный однокристальный датчик
    - Фронтальный термостойкий датчик
 • Кварцевые кристаллы
 • Устройство шагового перемещения тиглей


Криогенное оборудование


Криогенные машины
 • Двухступенчатые рефрижераторы на температурный уровень 4К
 • Рефрижераторы для охлаждения криоэкранов
 • Рефрижераторы на базе пульсационной трубы
 • Рефрижераторы на температурный уровень 10К


Криостаты
 • Лабораторные криостаты SHI Сryogenics (США-Япония)


Гелиевые компрессоры

Вакуумные крионасосы
 • Вакуумные крионасосы SHI Cryogenics (США - Япония)
 • Вакуумные крионасосы для откачки больших потоков ксенона PHPK (США)


Общепромышленное оборудование


Центробежные жидкостные насосы
  • Насосы для химических процессов
 • Насосы для жидких растворов
 • Насосы для чистой воды


Металлообрабатывающие станки

Установка для термовакуумной обработки баллонов ТВОБ-2/40


Инструменты для сервиса холодильной техники
 • Течеискатель для холодильных агентов D-TEK Select
 • Течеискатель для холодильных агентов Compass
 • Течеискатель для холодильных агентов TEK-Mate
 • Течеискатель для холодильных агентов D-TEK CO2
 • Течеискатель горючих газов GAS-Mate
 • Ультразвуковой течеискатель Whisper
 • Весы для заправки хладагентом Wey-TEK
 • Аппарат для восстановления хладагента Vortex AC
 • Вакуумный пластинчато-роторный насос QS5
 • Вакуумметр Pilot Plus
 • Измеритель концентрации угарного газа CO Check
 • Манометрические станции



Краткая карта сайта


О компании
 • Контактная информация
 • Сертификаты и лицензии
 • Референции
 • Отзывы клиентов
 • Работа в компании
 • Партнеры


Оборудование
 • Полупроводниковое оборудование
 • Термическое оборудование
 • Аналитическое и испытательное оборудование
 • Криогенное оборудование
 • Общепромышленное оборудование


Услуги
 • Ремонт оборудования
 • Проектирование
 • Поставки и логистика
 • Гарантийное и сервисное обслуживание
 • Расчет и проектирование систем пневмотранспорта
 • Производство


Поддержка
 • Скачать
 • Полезная информация
 • Инструкции
 • Опросные листы
 • Обратная связь
 • Заказать доставку каталога
 • Применение
    - Авиационно-космическая отрасль
    - Атомная промышленность
    - Медицина
    - Научно-исследовательская деятельность
    - Водоочистка и аэрация
    - Эксплуатация авиационной техники
    - Деревообработка
    - Стекольная промышленность
    - Вакуумные столы (вакуумный прижим)
    - Вакуумная упаковка
    - Металлургия
    - Химическая промышленность
    - Фармацевтическая промышленность
    - Электротехническая промышленность
    - Испытания в различных отраслях промышленности
    - Пищевая промышленность
    - Производство пластмасс и полимеров
    - Целлюлозно-бумажная промышленность
    - Нефтехимическая промышленность
    - Полиграфия
    - Сельскохозяйственная промышленность
    - Машиностроение
    - Холодильная и криогенная техника
    - Горно-обогатительная промышленность
    - Автомобильная промышленность


Поиск по сайту