Универсальная установка напыления тонких пленок HHV Auto306 для НИОКР


Установка напыления тонких пленок

Установка напыления тонких пленок HHV Auto306 - универсальная система для напыления тонких пленок, предназначена для широкого круга применений в исследовательских лабораториях. Установка HHV Auto306 используется с различными вакуумными системами, камерами и устройствами термического напыления, которые подбираются и настраиваются в соответствии с Вашими задачами. Компания HHV выпускает установки напыления тонких пленок HHV Auto306 по английской технологии Edwards, что гарантирует высочайшее качество и надежность.


Технологическое оборудование


- Стеклянный вакуумный колпак, стеклянная цилиндрическая или прямоугольная камера из нержавеющей стали на выбор
- Один или несколько резистивных источников
- Резистивный источник на четырехпозиционном поворотном столике
- Компактный четырех-тигельный электронно-лучевой источник EB3 мощностью 3кВт
- Терморегулируемые источники органических материалов электронной чистоты
- Сочетание электронно-лучевых и резестивных испарителей
- Неподвижные и поворотные подложкодержатели
- Устройство нагрева подложки
- Заслонки источника
- Очистка в тлеющем разряде
- Контроль толщины пленки


Компания HHV также занимается изготовлением систем по техническим условиям заказчика для тех пользователей, которые предъявляют более строгие требования. Для получения более подробной информации обращайтесь к специалистам «ЭмЭсЭйч Техно Москва», являющейся официальным представителем компании HHV в России.


Каталог установок нанесения тонких пленок HHV


auto306_2.pngauto306_3.pngauto306_4.png
Auto306 с резистивным источником на 4-позиционном поворотном столике Компактный 4-тигельный электронно-лучевой источник EB3 мощностью 3кВт Камера FL400 изнутри с электронно-лучевым источником EB3, двумя резистивными источниками и кварцевым ламповым нагревателем подложки

HHV Auto306 для электронной микроскопии

auto_5.png


В зависимости от потребностей заказчика, установка HHV Auto306 может быть оснащена различными полноразмерными камерами, технологическим оборудованием и вакуумными системами. Благодаря этому, специалисты в области электронной микроскопии получают гибкий инструмент, дающий возможность использовать целый спектр методов, дополняющих самые передовые технологий ПЭМ и СЭМ.


Технологическое оборудование

- Резистивные источники испарения металлов для СЭМ
- Источник с угольным стержнем для ПЭМ, испарение углеродного волокна для ПЭМ
- Комбинированные системы для ПЭМ и СЭМ
- Конфигурации с испарением вверх или вниз
- Подложкодержатель Rotatilt 3 с возможностью вращения и изменения угла наклона включает в себя
 ◊ Стандартный держатель сетки для ПЭМ
 ◊ Магнитный держатель сетки для ПЭМ
 ◊ Планетарный подложкодержатель для шести стандартных столиков СЭМ
 ◊ Плоский подложкодержатель диаметром 80 мм для 3-мерных образцов
- Заслонка источника с ручным или электрическим приводом
- Очистка в тлеющем разряде
- Контроль толщины пленки


Компания HHV также занимается изготовлением систем по техническим условиям заказчика для тех пользователей, которые предъявляют более строгие требования. Для получения более подробной информации обращайтесь к специалистам «ЭмЭсЭйч Техно Москва», являющейся официальным представителем компании HHV в России.


auto306_6.png auto_306_7.png
Auto306 с резистивным источником, углеродным источником и подложкодержателем Rotatilt3Подложкодержатель Rotatilt3 с держателем сетки для ПЭМ

Функциональные характеристики установки HHV Auto306


Вакуумные установки

- Диффузионный насос производительностью 600 л/с
- Турбомолекулярный насос производительностью 250 л/с
- Турбомолекулярный насос производительностью 500 л/с
- Пластинчато-роторный насос с масляным уплотнением производительностью 14,3 м3/ч и ловушка, охлаждаемая жидким азотом, в стандартной комплектации
- Дополнительные возможности использования безмасляного спирального насоса и турбомолекулярного насоса на магнитном подвесе


Камеры

- Куполообразный стеклянный вакуумный колпак с дополнительной возможностью подъема купола
- Стеклянный цилиндр с алюминиевой верхней плитой и дополнительной возможностью установки противовеса верхней плиты
- Прямоугольная камера фронтальной загрузки FL400 со смотровым окном диаметром 100мм и футеровкой камеры


Средства управления и обеспечения безопасности

- Контроллер системы на базе ПЛК с сенсорным дисплеем для управления вакуумной установкой
- Автоматический высоковакуумный клапан служит для защиты насосов и технологического процесса
- Комплексные блокировочные устройства обеспечивают максимальную безопасность оператора
- Auto306 имеет маркировку ЕС


Планируемая модернизация

- Функциональная особенность модульной конструкции Auto306 состоит в том, что конфигурацию этой установки можно изменить или модернизировать при помощи дополнительного оборудования, поскольку со временем требования меняются


Технические характеристики


Предельное давление

при откачке диффузионным насосом 600 л/с

2 x 10-7 мбар

при откачке турбомолекулярным насосом 255 л/с

5 x 10-7 мбар

при откачке турбомолекулярным насосом 500 л/с

2 x 10-7 мбар

Производительность ловушки, охлаждаемой жидким азотом

1,4 литров

Вес (приблизительно)

200 кг

Электропитание

240В или 220В 1-фаза 50 Гц

или 210В 1-фаза 60 Гц

Степень защиты

IP20

Время откачки

Время до достижения давления 10-5 мбар

4 минуты

Время до достижения давления 10-6 мбар

25 минут

Измеренный поток натекания

10-9 мбар л/с


Габаритные размеры


auto306_8.png