Специальная установка "Special plasma system Tetra-2400-LF-PC"


очистка, травление, активацияПроизводственная установка "Tetra-2400" с камерой на 2400 л и системой компьютерного управления, используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).



Plasma system TETRA-2400-LF-PC предназначена для следующих производственных процессов: очистка, активация, травление


Технические характеристики


Технические характеристики:


Plasma etcher Tetra-2400


Шкаф распределительного устройства:

Ш 600 мм, В 2.200 мм, Г 800 мм

Камера:

Ø 1100 мм, В 1100 мм, Г 2500 мм

Объем камеры:

~ 2400 литров

Генератор:

4 шт. (каждый 40 кГц)
(по выбору: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Комплектация:

Вращающийся барабан (16 коробов по 30 литров каждый)

Управление:

ПК управление (Windows) c промышленной шиной Fieldbus