Специальная установка "Special plasma system Tetra-120-LF-PC"


Очистка, травление, активация


Производственная установка "Tetra-120" с камерой объёмом 120 л и автоматической дверью применяется в серийном производстве (очистка, травление и активация).



Plasma system TETRA-120-LF-PC: c управлением через ПК. Установка оснащена автоматической дверью







Технические характеристики


Технические характеристики:


Plasma etcher Tetra 120-LF-PC


Шкаф распределительного устройства:

Ш 600 мм, В 2.150 мм, Г 1.000 мм

Камера:

Ш 1.200 мм, В 150 мм, Г 1.700 мм

Объем камеры:

~ 120 литров

Подвод газа:

4 регулятора расхода газов с MFCs

Генератор:

2 шт. (каждый 40 кГц)
(опционально: 13,56 МГц, или 2,45 ГГц)

Управление:

ПК управление(Windows)

Автоматизация:

Установка оснащена автоматической дверью