Вакуумные насосы EBARA VOS100


641x80px.jpg


вакуумный насос ebaraНасосы EBARA VOS100 имеют самое высокое отношение скорости откачки к габаритным размерам среди всех представленных на рынке средств сухой вакуумной откачки. Модель VOS100 основана на базе многоступенчатого насоса Рут уникальной конструкции и предназначена для установки на очень близком расстоянии к камере технологического процесса.

Насосы серии VOS обладают великолепными показателями быстроты действия при минимальном весе, имея очень компактную конструкцию. Отсутствует необходимость в подаче азота для чистых процессов. Исполнение "Р" подходит для откачки агрессивных газов (например, в процессах травления).




Преимущества вакуумных насосов серии VOS:



- Компактные габаритные размеры. Идеально подходят для интеграции в системы
- Низкая стоимость владения
- Использование энергосберегающих двигателей постоянного тока
- Нет необходимости продувки азотом в чистых процессах


Каталог сухих форвакуумных насосов и систем нейтрализации опасных газов Ebara (Япония)


Технические характеристики вакуумных насосов серии VOS


Характеристики/Модель


VOS100


VOS100P


Быстрота действия, м3/час

108

102

Предельное остаточное давление, мбар

1.2х10-2

1.2х10-2

Соединительный фланец

KF 50

KF 50

Тип охлаждения

водяное

водяное

Расход охлаждающей воды, л/мин

1.5-3

1.5-3

Расход азота на продувку, л/мин

0

11-13

Габаритные размеры, ДхШхВ, мм

450 х 230 х 275

450 х 230 х 275

Масса, кг

60

60