Насосы EBARA серии EV-S


Необходимость уменьшения энергопотребления является одной из основных тем для обсуждения в области проектирования без масляных вакуумных насосов.японский вакуумный насос Ebara В зависимости от технологического процесса затраты на электроэнергию могут достигать 60% от общего потребления в процессе производства. Основные области применения насосов EV-S: откачка загрузочных камер, откачка вакуумных камер сканирующих электронных микроскопов, PVD-процессы. Использование насосов новой серии EV-S позволяет сократить потребление энергии в несколько раз.

В насосах серии EV-S использованы высокоэффективные электродвигатели, оптимизировано число ступеней сжатия, улучшена система управления двигателем при помощи системы интеллектуального контроля. Эти достоинства способствуют снижению расходов на эксплуатацию и повышению прибыльности для наших клиентов.


Преимущества:



- Низкое потребление энергии
- Отсутствие необходимости в потреблении азота для чистых процессов
- Высокая коррозионная стойкость
- Насосы имеют сертификаты: ЕС, Национальной Поверочной Лаборатории полупроводников, Международной организации полупроводникового оборудования и материалов S2


EV-S20N малEV-S50P мал

EV-S20N

EV-S50P


Технические характеристики


Характеристики/Модель


EV-S20


EV-S50


EV-S100


EV-S200


Быстрота действия, м3/час

100

300

600

1200

Предельное остаточное давление, мбар

3.0х10-2

5.0х10-3

5.0х10-3

5.0х10-3

Соединительный фланец

KF 50

KF 50

KF 80

ISO-K 100

Максимальная потребляемая мощность (при минимальном остаточком давлении), кВт

2.2 (0.4)

3.6 (0.55)

4.6 (0.65)

5.1 (0.75)

Расход охлаждающей воды, л/мин

1.5-3

2-3

2-3

2-3

Расход азота на продувку, л/мин

10-12

10-12

10-13

10-12

Габаритные размеры, ДхШхВ, мм

450 х 230 х 275

450 х 230 х 520

510 х 260 х 520

650 х 275 х 580

Масса, кг

60

100

120

170


Инструкция: Многоступенчатый вакуумный насос с сухим уплотнителем. Серия EV-S



Каталог сухих форвакуумных насосов и систем нейтрализации опасных газов Ebara (Япония)