Cухие вакуумные насосы типа Рут (Серия ESR)


Серия ESR - это многоступенчатые сухие вакуумные насосы типа Рут, специально разработанные для применения в технологических процессах, таких как: высокотемпературная обработка, осаждение тонких пленок (PVD-процессы) и ионно-плазменное травление, откачка вакуумных камер большого объема, а также и других процессах связанных с откачкой чистых сред и сред со средним уровнем загрязнения.

Насосы серии ESR высокой производительности имеют дополнительную ступень в виде встроенного сухого бустерного двухроторного насоса.

Насосы серии ESR обладают быстротой действия от 78 до 2760 м3/ч.

Нужно отметить, что насосы серии ESR имеют очень низкую стоимость владения за счет использования многоступенчатой конструкции с применением двигателей постоянного тока и интеллектуальной системы управления двигателем. Эти усовершенствования позволяют снизить потребление электроэнергии, охлаждающей воды и азота по сравнению с насосами, работающими на двигателях переменного тока. Интеллектуальная система управления позволяет настраивать насос на определенную степень вакуума, а также на переход в режим ожидания, когда насос не используется. Для применения в «чистых» технологических процессах продувка азотом не требуется. Для откачки агрессивных и ядовитых газов используется встроенная система продувки азотом (с экономичным расходом). Очень высокая химическая стойкость деталей проточной части насосов обеспечивается использованием запатентованных сплавов с высоким содержанием никеля.

Сухие вакуумные насосы EBARA имеют целый ряд неоспоримых преимуществ, что позволяет их считать наиболее оптимальным средством откачки в самых ответственных процессах.


ESR80WN малESR80WN_2 мал

ESR80WN


Преимущества вакуумных насосов серии ESR:



- Самая низкая стоимость владения в своем классе
- Компактная конструкция
- Широкий диапазон производительностей
- Использование высокотехнологичных безщеточных двигателей постоянного тока
- Интеллектуальная система управления
- Насосы имеют международные сертификаты: ЕС, Национальной Поверочной Лаборатории полупроводников, Международной организации полупроводникового оборудования и материалов S2 и подходят для использования в чистых помещениях


Каталог сухих форвакуумных насосов и систем нейтрализации опасных газов Ebara (Япония)


Технические характеристики


Характеристики/Модель

ESR20N


ESR30N


ESR80WN


ESR200WN


ESR300WN


ESR500WN


Быстрота действия, м3/час

78-120

90-180

240-600

600-1200

900-1800

2760

Предельное остаточное давление, мбар

2х10-2

6.7х10-3

2х10-3

2х10-3

2х10-3

2х10-3

Соединительный фланец

KF 40

KF 50

KF 50

ISO-K 100

ISO-K 100

ISO-K 100

Максимальная потребляемая мощность (при минимальном остаточком давлении), кВт

2.8 (0.7)

3.5 (1.7)

4.5 (1.0)

5.6 (2.1)

7.5 (2.9)

7.9 (3.1)

Расход охлаждающей воды, л/мин

2-8

2-8

2-8

2-8

3.5-8

3.5-8

Расход азота на продувку, л/мин

2-12

2-12

2-12

2-12

2-12

2-12

Габаритные размеры, ДхШхВ, мм

695 х 280 х 370

760 х 400 х 488

720 х 380 х 705

850 х 380 х 705

825 х 460 х 880

975 х 460 х 880

Масса, кг

105

190

200

250

390

500