Сухие насосы EBARA серии ESA


Сухие насосы EBARA серии ESA предназначены для откачки незагрязненных сред и специальных применений. Насосы спроектированы для работы в условиях высокой газовой нагрузки и высокой быстроты действия. Насосы серии ESA обладают быстротой действия от 150 до 3000 м3/ч.


ESA25-DESA70W-DESA300W

ESA25-D

ESA70W-D

ESA300W


Модели ESA25-D, ESA75W-D и ESA200W специально спроектированы для откачки в процессах с повышенным содержанием водорода, а 3-х лепестковая конструкция многоступенчатого насоса Рут позволяет предотвратить обратное натекание водорода в откачиваемый объем. Модели ESA300W и ESA500W идеально подходят для откачки загрузочных камер большого объема и откачки систем производства жидко-кристаллических панелей.


Преимущества:



- Высокопроизводительный базовый насос c возможностью регулирования частоты вращения
- Высокая скорость откачки, даже в диапазоне давлений, близких к атмосферному
- Использование высокотехнологичных бесщеточных двигателей постоянного тока
- Интеллектуальная система управления
- Возможность работы насоса при высоких температурах для предотвращения конденсации
- Низкий уровень шума и вибраций
- Низкое потребление электроэнергии, азота, охлаждающей воды
- Режим ожидания для экономии электроэнергии




Каталог сухих форвакуумных насосов и систем нейтрализации опасных газов Ebara (Япония)


Технические характеристики


Характеристики/Модель


ESA25-D


ESA70W-D


ESA200W


ESA300W


ESA500W


Быстрота действия, м3/час

150

420

1200

1680

3000

Предельное остаточное давление, мбар

2х10-2

2.7х10-3

5.3х10-3

5.3х10-3

1х10-2

Соединительный фланец

KF 50

KF 50

KF 80

ISO-K 100

ISO-K 160

Максимальная потребляемая мощность (при минимальном остаточком давлении), кВт

3.7 (2.6)

5.9 (3.6)

4 (3.4)

11 (6.6)

24.1 (6.7)

Расход охлаждающей воды, л/мин

3.5-8

3.5-8

3.5-8

6-9

6-9

Расход азота на продувку, л/мин

11-13

14-16

11-13

5-7

5-7

Габаритные размеры, ДхШхВ, мм

1074 х 394 х 520

985 х 400 х 770

970 х 400 х 907

1110 х 620 х 945

1110х 620х1010

Масса, кг

240

300

420

700

750