Сухие форвакуумные насосы

Сухие форвакуумные насосы Ebara (Япония)


Компания EBARA Corp. - это мировой лидер по производству высокотехнологичного оборудования для различных областей науки и техники.

Корпорация была основана в 1912 г. и на сегодняшний день имеете своем составе несколько подразделений:
- Fluid Machinery & Systems Company - подразделение, занимающееся производством насосов для химической промышленности и систем на их основе.
- Environmental Engineering Company - подразделение, занимающееся научно-исследовательскими и опытно-конструкторскими работами (НИОКР).
- Precision Machinery Company - подразделение, занимающееся производством сухих вакуумных насосов, оборудованием для полупроводниковой промышленности, систем озонирования и очистки для чистых помещений.

Компания EBARA - мировой лидер по изготовлению сухих вакуумных насосов большой производительности и высокотехнологичных систем для полупроводниковой промышленности и фотовольтаики.

Корпорация EBARA является членом Международной организации полупроводникового оборудования и материалов, Американского вакуумного общества, Американской ассоциации изготовителей вакуумного оборудования.



Весь ассортимент продуктов EBARA разрабатывается и производится в полном соответствии со стандартными требованиями Американского национального института стандартов (ANSI), Международной организации по стандартизации (ISO), Американского общества контроля качества (ASQC), системы качества США и Японии. Не имеющая себе равных локальная и глобальная сеть центров поддержки клиентов и технического обслуживания обеспечивает высочайший стандарт надежности, максимальное время безотказной работы, при низких эксплуатационных издержках. Использование самого современного производственного оборудования, инновационных технологий и качественных материалов позволяет компании Ebara Precision Machinery Company выпускать оборудование, полностью соответствующее требованиям современного производства и динамичного развивающегося рынка. Компания ООО «ЭмЭсЭйч Техно Москва» является дилером компании Ebara на территории России.



Модельный ряд насосов постоянно расширяется , что позволяет компании Ebara уверенно оставаться в лидерах на рынке вакуумного оборудования для полупроводниковой промышленности, оставаясь самой крупной в мире компанией, специализирующейся на производстве сухих форвакуумных насосов подобного класса, общая численность сотрудников компании более 16 000 человек.



Насосы Ebara серии PDV широко используются как современная альтернатива спиральным насосам. Насосы Ebara PDV это полностью безмасляные винтовые вакуумные насосы с быстротой действия 14 или 30 м.куб/ч. Конструкция основана на выверенном десятилетиями винтовом откачном блоке, применяемом в насосах Ebara для полупроводниковой промышленности.

Винтовые насосы одни из самых стойких к попаданию загрязнений в виде мелкодисперсной пыли из всех современных сухих форвакуумных насосов. В отличии от спиральных насосов, в винтовых насосах Ebara нет изнашивающегося уплотнения в рабочей камере, а следовательно у Вас не будет необходимости в контроле его целостности и замене. Кроме того, отсутствие изнашивающихся уплотнений в рабочей камере предотвращает засорение откачиваемого объема продуктами износа в следствие обратной диффузии частиц через патрубок насоса в откачиваемый объем.



Сухие насосы компании EBARA обладают многими дополнительными преимуществами, включая повышенную надежность, низкую шумность, низкий уровень вибраций, низкие затратами на эксплуатацию и самой низкой стоимостью владения.



Сухие насосы компании EBARA сохраняют работоспособность в процессах с высокой степенью загрязнения, таких как химическое осаждение из газовой фазы при низком давлении (LPCVD); плазменно-химическое осаждение из газовой фазы (PECVD); химическое осаждение из газовой фазы (CVD) и др.

Сухие насосы компании EBARA используются в областях, где присутствие паров масла недопустимо: производство полупроводников, стенды испытаний космической техники, биотехнологии, ускорители элементарных частиц и т.д. Компания EBARA предлагает широкую линейку продуктов с широким спектром моделей.


Каталог сухих форвакуумных насосов и систем нейтрализации опасных газов Ebara (Япония), Русский, 1,28 МБ