Турбомолекулярные насосы EBARA (Япония)


Компания EbaraКомпания EBARA - мировой лидер по производству турбомолекулярных насосов, сухих вакуумных насосов большой производительности и высокотехнологичных систем для полупроводниковой промышленности и фотовольтаики.


Использование самого современного производственного оборудования, инновационных технологий и качественных материалов позволяет компании Ebara Precision Machinery Company выпускать оборудование, полностью соответствующее требованиям современного производства и динамично развивающегося рынка.


Компания ООО «ЭмЭсЭйч Техно» является эксклюзивным представителем компании Ebara на территории России.


Каталог турбомолекулярных насосов Ebara. Русский яз., 1,8 МБ

Гибридные турбомолекулярные насосы с подшипниками качения


Серия EBT-F (TG-F). Гибридные турбомолекулярные насосы с интегрированными молекулярными ступенями и металлокерамическими подшипниками с консистентной смазкой


1-smallEBT220.jpg2-smallEBT450.jpg3-smallEBT800.jpg4-smallEBT2400F.jpg
EBT220F
EBT450F
EBT800FEBT2400F

Нажмите на изображение для увеличения


Характеристики:

- подшипники с консистентной смазкой с ультранизким  давлением паров
- любое положение в пространстве при монтаже
- не требуется смазка подшипников, ресурс подшипников до замены не менее 20 000 часов
- расчетный ресурс работы насосов от 100 000 часов (около 50 лет работы при стандартном режиме эксплуатации)

- компактная конструкция (небольшой вес и размеры, малогабаритный контроллер)

- экономичное энергопотребление

- низкие затраты на эксплуатацию и обслуживанию

- воздушное или водяное охлаждение


Особенности:
- встроенная система продувки подшипников (для откачки корозионно активных и конденсирующихся сред) в стандартной комплектации
- защита при прорыве атмосферы (нарушении герметичности вакуумной системы) и связанных с этим остановках и пусках электродвигателя (на некоторых моделях)
- возможность использования в широком спектре производственных процессов, в том числе в полупроводниковой промышленности и производстве жидкокристаллических дисплеев
- есть модели способные эффективно работать при частых напусках атмосферы (актуально для шлюзовых загрузочных камер)


Модель

Быстрота действия по N2, л/с

Предельное остаточное давление, мм.рт.ст

Макс.
потребляемая
мощность, кВт

Макс. форвакуумное давление,
мм.рт.ст

Мин. масса (зависит
от типа фланца), кг

Мин. время старта, мин

EBT70F (TG70F)703,8Е-9-932

EBT220F (TG220F)

220

7,5E-9

0,59

2,6

5,5

1

EBT240F (TG240F)2407,5E-9-5,37,37,5

EBT350F (TG350F)

350

7,5E-9

0,61

2,6

6

2

EBT450F (TG450F)

450

7,5E-9

0,61

2,6

7

2

EBT800F (TG800F)

820

7,5E-9

0,61

3,2

26

5,5

EBT1100F (TG1100F)

1100

7,5E-9

0,61

3,2

27

5,5

EBT1400F (TG1400F)

1400

7,5E-9

0,81

3,2

29

5,5

EBT2400F (TG2400F)

2400

7,5E-9

1,2

2

45

5


Гибридные турбомолекулярные насосы с интегрированными молекулярными ступенями и классическими подшипниками (наличие, цены и характеристики моделей уточняйте у менеджеров)

Характеристики:
- период между техническими обслуживаниями 20 000 -30 000 часов
- расчетный ресурс работы насосов от 100 000 часов (около 50 лет работы при стандартном режиме эксплуатации)
- высокая эффективность откачки в широком диапазоне давлений
- высокая быстрота действия при высоких давлениях (больше нет необходимости в использовании двухроторных или бустерных насосов для форвакуумной откачки больших объемов)
- применяются в установках со сложными условиями эксплуатации

- применяются для откачки агрессивных и загрязненных газов

- выполнены по стандартам полупроводниковой промышленности

Особенности:
- быстрота действия форвакуумного насоса может быть уменьшена почти в 40 раз по сравнению с классическими турбомолекулярными насосами без увеличения общего времени откачки системы (экономия за счет использования форвакуумного насоса меньшей производительности)
- конструкция устойчивая к прорывам атмосферы
- встроенная система продувки подшипников
- интеграция в системы управления процессом с помощью цифрового интерфейса RS 232
- водяное охлаждение для моделей начиная с TG 553
- самый большой в мире гибридный насос TG5500 для откачки вакуумных камер большого объема
- возможность использования в широком спектре производственных процессов, в том числе в полупроводниковой промышленности и производстве жидкокристаллических дисплеев, а так же в процессах связанных с откачкой агрессивных и загрязненных газов



Гибридные турбомолекулярные насосы с полностью магнитным подвесом ротора (с магнитными подшипниками)

Серия EMT-F (TG-M). Гибридные турбомолекулярные насосы с полностью магнитным подвесом ротора (с магнитными подшипниками), стандартное исполнение


5-smallEMT390.jpg6-smallEMT900.jpg7-smallEMT1300.jpg8-smallEMT2400.jpg
EMT390M
EMT900M
EMT1300MEMT2400M

Нажмите на изображение для увеличения


Характеристики и особенности:
- абсолютно безмасляные насосы (полностью магнитный подвес ротора)
- полностью необслуживаемые насосы
- в случае нарушения основного питания, ротор будет поддерживаться в состоянии магнитной левитации за счет встроенной батареи, до полной остановки ротора путем электрического торможения
- автоматическая система 5-ти осевого активного электромагнитного управления исключает касание ротором неподвижных частей насоса, обеспечивая неограниченный ресурс работы
- автоматическая система балансировки
- система управления скоростью вращения ротора (обеспечивает начало вращения ротора при высоких давлениях на низких оборотах, при понижении давления выводит частоту вращения ротора на максимальные значения для обеспечения максимальной степени сжатия и максимальной быстроты действия)
- безвибрационная работа
- встроенная система самодиагностики способна распознавать потенциальные ошибки в системе до их возникновения и сообщать о них (важно при непрерывной продолжительной работе в ответственных применениях без возможности контроля оператором)
- цифровой интерфейс RS232C
- насос можно устанавливать в любом положении в пространстве
- компактный размер
- энергосберегающая работа
- быстрый пуск и остановка


Модель

Быстрота действия по N2, л/с

Предельное остаточное давление, мм.рт.ст

Макс.
потребляемая
мощность, кВт

Макс. форвакуумное давление, Па

Мин. масса (зависит
от типа фланца), кг

Мин. время старта, мин

TG390M

340

7,5E-10

0,7

400

14

2

TG420M

400

7,5E-10

0,7

400

14

2

TG900M

900

7,5E-10

1,2

500

34

4

TG1300M

1300

7,5E-10

1,2

500

34

4

TG2400M

2400

7,5E-10

1,2

200

45

4

TG3260M

3200

7,5E-10

1,2

400

80

13

TG3460M

3400

7,5E-10

1,2

400

73

13


Гибридные турбомолекулярные насосы с полностью магнитным подвесом ротора для сверхвысоковакуумных применений с повышенной степенью сжатия легких газов (Наличие, цены и характеристики моделей уточняйте у менеджеров)


Насосы с полностью магнитным подвесом ротора и повышенной степенью сжатия легких газов -  лучший инструмент для получения сверхчистого и сверхвысокого вакуума!

Насосы созданы для эффективной откачки легких газов в высоковакуумном и сверхвысоковакуумном диапазоне давлений. Сложность откачки легких газов, в частности водорода, является основной причиной невозможности получения сверхвысокого вакуума с помощью обычных турбомолекулярных насосов, т.к. основной объем газовыделений в этой области давлений приходится именно на водород, а степень сжатия водорода у турбомолекулярных насосов минимальная. Насос серии TG-MU обладают также всеми преимуществами насосов серии TG-M.

Основные области применения насосов серии TG-MU:
- аналитические приборы, исследования поверхностей
- сверхвысоковакуумные тонкопленочные технологии
- исследования в области физики высоких энергий, ускорители элементарных частиц, ядерная физика



Гибридные турбомолекулярные насосы с полностью магнитным подвесом ротора (с магнитными подшипниками). Ультранизкий уровень вибраций (Наличие, цены и характеристики моделей уточняйте у менеджеров)


Особенности данных насосов: ультранизкий уровень вибраций и ультрачистый вакуум для нанотехнологий!

Компания Osaka Vacuum является экспертом в области откачных систем для нанотехнологий.

Гибридные наасосы с магнитными подшипниками обладают уникальными вибрационными характеристиками:
- при стандартном монтаже уровень виброперемещений в радиальном и осевом направлении менее 1 нм
- при монтаже на опциональную виброкомпенсирующую платформу уровень виброперемещений менее 0,1 нм !!!


Современные технологические процессы и исследования в области нанотехнологий зачастую требуют не только высокой чистоты и но и применения оборудования с крайне низким уровнем вибраций. Насосы серии TG-ML созданы специально для обеспечения возможности выполнения операций в сверхчистом высоком вакууме с нанометровой точностью. Ультранизкий уровень вибраций обеспечивается специальной конструкцией насоса и программным обеспечением , управляющим движением ротора насоса.

Области применения насосов серии TG-ML:
- электронные микроскопы со сверхвысоким разрешением
- аналитические высоковакуумные комлексы
- исследования в области нанотехнологий
- EUV-литография
- производство и исследования в области микроэлектромеханических систем (MEMS)
- оборудование для контроля качества CD-дисков
- электронно-лучевая литография
- анализ поверхностей методом XPS-спектров
- трансмиссионные электронные микроскопы (TEM)



Гибридные турбомолекулярные насосы с полностью магнитным подвесом ротора (с магнитными подшипниками). С системой управления температурой для откачки конденсирующихся сред. (Наличие, цены и характеристики моделей уточняйте у менеджеров)


Основные применения насосов данной серии: полупроводниковая промышленность, производство LCD и TFT дисплеев и т.д. Конструкция насосов и особенности управляющей программы предотвращают конденсацию в проточной части побочных продуктов полупроводниковой промышленности.

Насосы оборудованы встроенной системой управления температурой. Цель этой системы оптимизация температуры в насосе и управление тепловыми потоками от ротора и внешнего нагревателя, что позволяет принципиально уменьшить конденсацию (осаждение) частиц внутри насоса. Это позволяет не только значительно улучшить функционирование насоса в жестких условиях полупроводниковой промышленности, но и увеличить время его работы без технического обслуживания. Электронная система управления температурой и специальная конструкция обеспечивают максимально эффективный нагрев проточной части и при этом полностью исключают критичное уменьшение прочностных и функциональных характеристик элементов насоса.


Гибридные турбомолекулярные насосы с полностью магнитным подвесом ротора (с магнитными подшипниками), специально разработанные для эксплуатации в условиях радиации. (Наличие, цены и характеристики моделей уточняйте у менеджеров)


Применение данных насосов:
Исследования в области физики высоких энергий, ускорители элементарных частиц, ядерная физика и др.


Насосы созданы для надёжной работы в жёстких условиях эксплуатации!


Работа данных насосов проверялась в условиях облучения гамма-лучами, при этом полная поглощённая доза составила 50МГр.

Гибридные турбомолекулярные насосы с полностью магнитным подвесом ротора (с магнитными подшипниками) со встроенным блоком управления для работы в жестких условиях. (Наличие, цены и характеристики моделей уточняйте у менеджеров)


Данные турбомолекулярные насосы имеют встроенный контроллер/блок питания насоса. Благодаря этому решению, упрощается и значительно удешевляется конструкция насоса, так как соединительный кабель/кабельный канал не требуется, нет необходимости монтировать оборудование в стойке. 


Насосы специально созданы для работы в жестких условиях!



Особенности и достоинства:

- Оптимизированная конструкция ротора
- Высокая эффективность откачки в широком диапазоне давлений
- Все дисплеи, соединения и выключатели расположены на одной стороне насоса, не требуется подключать что-либо к боковой/задней стенке насоса, эти особенности конструкции делают насос универсальным и облегчают встраивание в вакуумную систему


Области применения:

- Производство солнечных элементов
- Стекло, оптические покрытия
- Технология напыления тонких пленок
- Обработка поверхности, модификация поверхности
- Производство жидкокристаллических элементов
- Производство полупроводников
- Имитация космического пространства