Регуляторы расхода газов серии T1000
Преимущества регуляторов расхода газов серии Т1000
- Регуляторы расхода газов производятся японской компанией Fujikin Inc., которая гарантирует безупречное качество приборов, надежность и точность измерения
- Экономичная серия Т1000 - широкий выбор моделей
- Поддержка аналогового и цифрового интерфейса (RS-485) (за исключением модели T1000L)
- За счет соленоидного клапана, осуществляется быстродействие менее 1 секунды (за исключением модели T1000L30 л/м – менее 2 сек.)
- Соответствие RoHS (Директива 2002/95/EC)
- Широкий диапазон расходов (от 10 sccm до 500 SLM)
- Погрешность на повторяемость менее 0,2% от начальных показаний
- Погрешность на линейность менее 0,5%
- Поддержка протоколов DeviceNet
- Широкое применение: полупроводниковое производство, производство жидкокристаллических дисплеев, производство солнечных батарей, светодиодов, аналитическое оборудование, мониторинг газовых потоков в нефтехимии, химии, пищевой промышленности и др.
Каталог регуляторов расхода газов Fujikin на русском языке
Элементы конструкции
1. Направление потока
2. Байпас
3. Термосенсор
4. Соленоидный клапан
5. Соединение: ¼’’ F900 (127мм); ¼’’ UJR (124мм); 1.5W или 1.125W (79.8мм / 92мм)
6. Разъем RJ-11 или RJ-45 (цифровой)
7. Разъем D-Sub9 (аналоговый / питание)
8. Светодиод (указывает работоспособность)
9. Кнопка установки нуля
Регуляторы расхода газов FCSТ1000, T1000D
- Аналоговое и цифровое управление (RS-485)
- Резиновое уплотнение
- Соленоидный клапан
- Поддержка протоколов DeviceNet
- Соответствие RoHS (Директива2002/95/EC)
|
Модель |
FCST1005(D) / TM1005(D) |
FCST1030(D) / TM1030(D) |
FCST1050(D) / TM1050(D) |
|
Полные диапазоны (по N2) |
10 мл/мин - 5 л/мин |
6 л/мин - 30 л/мин |
31 л/мин - 50 л/мин |
|
Избыточное давление, требуемое для работы |
50 – 300 кПа |
НО: 100 - 300кПа для 6 л/мин - 20 л/мин 150 - 300кПа для 21 л/мин - 30 л/мин Мин НЗ: 100 - 300кПа |
200 – 300 кПа |
|
Тип клапана |
Нормально Открытый (НО); Нормально Закрытый (НЗ) | ||
|
Диапазон регулирования |
2 - 100% от полной шкалы | ||
|
Точность |
±1% от полной шкалы | ||
|
Рабочая температура |
5 -50 | ||
|
Время отклика |
Менее 1 сек. | ||
|
Линейность |
±0,5% от полной шкалы | ||
|
Повторяемость |
±0,2% от полной шкалы | ||
|
Максимальное рабочее давление |
400 кПа | ||
|
Испытательное давление |
1 МПа | ||
|
Герметичность |
менее 1 х 10-7 Па м3/сек (по He) | ||
|
Материалы, контактирующие со средой |
SUS316, магнетизировавшая нерж. сталь, PTFE, FKM (или хлоропреновая резина) | ||
|
Потребляемая мощность |
+15В : 50мА, -15В : 200мА (24В DeviceNet) | ||
|
Соединения1 |
1/4'' UJR (124мм), 1/4'' F900 (127мм), IGS (1.5W) (92мм) | ||
1) Предоставленные характеристики только для РРГ
UJR –соединение металлическим торцевым уплотнением
F900 –соединение с обжимными кольцами
IGS (1.5W)–для интегрированных газовых систем
Регуляторы расхода газов FCSТ1000L
- Экономичная модель
- Аналоговое управление
- Резиновое уплотнение
- Соленоидный клапан
- Соответствие RoHS (Директива2002/95/EC)
|
Модель |
FCST1005LC / TM1005LC |
FCST1030LC / TM1030LC |
FCST1050LC / TM1050LC |
|
Полные диапазоны (по N2) |
10 мл/мин - 5 л/мин |
6 л/мин - 30 л/мин |
31 л/мин - 50 л/мин |
|
Точность |
±1% от полной шкалы |
±1% от полной шкалы |
±2% от полной шкалы |
|
Время отклика |
Менее 1 сек. |
Менее 1 сек. |
Менее 2 сек. |
|
Линейность |
±0,5% от полной шкалы |
±0,5% от полной шкалы |
±1% от полной шкалы |
|
Избыточное давление, требуемое для работы |
50 – 300 кПа |
100 – 300 кПа |
200 – 300 кПа |
|
Тип клапана |
Нормально закрытый (НЗ) | ||
|
Диапазон регулирования |
2 - 100% от полной шкалы | ||
|
Рабочая температура |
5-50 | ||
|
Повторяемость |
±0,2% от полной шкалы | ||
|
Максимальное рабочее давление |
400 кПа | ||
|
Испытательное давление |
1МПа | ||
|
Герметичность |
менее 1 х 10-7 Па м3/сек (по He) | ||
|
Материалы, контактирующие со средой |
SUS316, магнетизировавшая нерж. Сталь, PTFE, FKM (или хлоропреновая резина) | ||
|
Потребляемая мощность |
+15В : 25мА, -15В : 180мА | ||
|
Соединения1 |
1/4'' UJR (124мм), 1/4'' F900 (127мм), IGS (1.5W) (92мм) | ||
1)Предоставленные характеристики только для РРГ:
UJR –соединение металлическим торцевым уплотнением
F900 –соединение с обжимными кольцами
IGS (1.5W)–для интегрированных газовых систем
Регуляторы расхода газов FCSТ1000M, T1000MD
- Металлическое уплотнение
- Аналоговое управление и цифровое управление (RS 485)
- Соленоидный клапан
- Соответствие RoHS (Директива2002/95/EC)
- Поддержка протоколов DeviceNet
|
Модель |
FCST1005M(D) / TM1005M(D) |
FCST1030M(D) / TM1030M(D) |
FCST1050M(D) / TM1050M(D) |
|
Полные диапазоны (по N2) |
10 мл/мин - 5 л/мин |
6 л/мин - 30 л/мин |
31 л/мин - 50 л/мин |
|
Точность |
±1% от полной шкалы |
±1% от полной шкалы |
±2% от полной шкалы |
|
Время отклика |
Менее 1 сек. |
Менее 1 сек. |
Менее 2 сек. |
|
Линейность |
±0,5% от полной шкалы |
±0,5% от полной шкалы |
±1% от полной шкалы |
|
Избыточное давление, требуемое для работы |
50 – 300 кПа |
100 – 300 кПа |
200 – 300 кПа |
|
Тип клапана |
Нормально закрытый (НЗ) | ||
|
Диапазон регулирования |
2 - 100% от полной шкалы | ||
|
Рабочая температура |
5-50 | ||
|
Повторяемость |
±0,2% от полной шкалы | ||
|
Максимальное рабочее давление |
400 кПа | ||
|
Испытательное давление |
1МПа | ||
|
Герметичность |
менее 1 х 10-7 Па м3/сек (по He) | ||
|
Материалы, контактирующие со средой |
SUS316, магнетизировавшая нерж. Сталь, PTFE, FKM (или хлоропреновая резина) | ||
|
Потребляемая мощность |
+15В : 25мА, -15В : 180мА | ||
|
Соединения |
1/4'' UJR (124мм), 1/4'' F900 (127мм), IGS (1.5W) (92мм) | ||
1)Предоставленные характеристики только для РРГ:
UJR –соединение металлическим торцевым уплотнением
F900 –соединение с обжимными кольцами
IGS (1.5W)–для интегрированных газовых систем
Регуляторы расхода газов FCSТ1200(D), T1500(D)
- Большой расход (до 500 л/мин)
- Резиновое уплотнение
- Аналоговое управление и цифровое управление (RS 485)
- Соответствие RoHS (Директива2002/95/EC)
- Поддержка протоколов DeviceNet
|
Модель |
FCST1200(D) / TM1200(D) |
FCST1500(D) / TM1500(D) |
|
Полные диапазоны (по N2) |
100 л/мин, 150 л/мин, 200 л/мин |
250 л/мин, 300 л/мин, 400 л/мин, 500 л/мин |
|
Тип клапана |
НО |
НЗ |
|
Точность |
±1% от полной шкалы |
±2% от полной шкалы |
|
Избыточное давление, требуемое для работы |
100 - 300 кПа |
150 – 300 кПа |
|
Соединения1 |
3/8'' UJR (192.4мм), 3/8'' F900 (192.5мм) |
1/2'' UJR (199мм), 1/2'' F900 (204.6мм) |
|
Диапазон регулирования |
2 - 100% от полной шкалы | |
|
Рабочая температура |
5 - 45 | |
|
Время отклика |
Менее 3 сек. | |
|
Линейность |
±0,5% от полной шкалы | |
|
Повторяемость |
±0,2% от полной шкалы | |
|
Максимальное рабочее давление |
700 кПа | |
|
Испытательное давление |
1МПа | |
|
Герметичность |
менее 1 х 10-7 Па м3/сек (по He) | |
|
Материалы, контактирующие со средой |
SUS316, PTFE, FKM (или хлоропреновая резина | |
|
Потребляемая мощность |
+15В : 50мА, -15В : 350мА (24В DeviceNet) | |
