Фронтальный двухкристальный датчик


Фронтальный двухкристальный датчик INFICON обеспечивает подтверждённые испытаниями надёжность и долговечность, а также имеет наилучшую тепловую стабильность по сравнению с любой другой головкой датчика, имеющейся на рынке. В двухкристальном датчике имеется резервный кристалл, наличие которого очень важно для критических процессов, где желательно иметь второй кристалл в вакуумной камере.
Конструкция с фронтальной установкой обеспечивает лёгкую установку держателя кристалла в тех приложениях, где недостаточно пространства для установки сбоку. Соединения деталей конструкции в основном механические, а не паяные, поэтому детали без труда можно заменить на месте эксплуатации при необходимости. Датчики можно заказывать отдельно или в комбинации с вакуумным вводом, присоединение которого может быть сварным или с помощью обжимного фитинга.


Конфигурации датчика


Фронтальный двухкристальный датчик изготавливается в конфигурации для стандартной2х фронтальный рис.jpg установки, когда трубки для воды параллельны грани кристалла. В стандартном исполнении датчик снабжён затвором кристалла с пневматическим приводом, который защищает резервный кристалл, пока первый кристалл отслеживает скорость напыления. Затвор сконструирован так, чтобы откидываться вниз, облегчая замену кристалла.
Подвергающийся воздействию электрод кристалла полностью заземлён для эффективного предотвращения возможных проблем из-за электромагнитных помех.


Вакуумные вводы


Компания INFICON предлагает вакуумные вводы двух типов: с 1-дюймовым резьбовым соединением или 2 ¾-дюймовым (CF40) фланцем ConFlat®. Можно заказать вакуумные вводы с фланцем KF40.


Присоединение вакуумного ввода


Фронтальные двухкристальные датчики можно заказать в комбинации с вакуумным вводом. Соединение вакуумного ввода с датчиком может быть сварным, если в комбинации с 1-дюймовым резьбовым соединением, или выполнено с помощью обжимного фитинга. Если требуется сварное соединение,обращайтесь к специалистам "ЭмЭсЭйч Техно", т.к. необходимо заполнить форму спецификации длины датчика, предоставляемую компанией INFICON, прежде чем делать заказ и приложить заполненную форму к заказу. Обжимные фитинги облегчают регулировку, не требуя пайки и сварки. Вакуумный ввод можно смещать вдоль трубок, что позволяет регулировать длину внутри вакуумной системы в диапазоне 20,3-71,1 см для датчиков с обозначением «Е» для диапазона длины и в диапазоне 20,3-121,9 см для датчиков с обозначением «G» для диапазона длины. После определения нужной длины, обжимные фитинги позволяют выполнить герметичное присоединение усилием от руки.


Каталог по контроллерам и кварцевым измерителям толщины тонких пленок Inficon (PDF, Русский, 6 МБ)


Преимущества


- Два кристалла
- Затвор кристалла
- Держатель кристалла с фронтальной установкой
- Простая установка
- Варианты вакуумного ввода:
1-дюймовое резьбовое соединение
Фланец CF40
- Регулируемая длина при заказе с обжимными фитингами
- При заказе с обжимными фитингами или сварным соединением вакуумного ввода никакой пайки не требуется
- Комбинации вакуумного ввода с датчиком со сварным соединением согласно спецификации длины, указанной заказчиком

2х фронтальный схема.jpg
Примечание. 779-220-G1, средство переключения между двумя кристаллами допускает использование только одного генератора (XIU).


ИНФОРМАЦИЯ ДЛЯ ЗАКАЗА


Фронтальный двухкристальный датчик (с кабелями для вакуума)


Для заказа Вам нужно составить код, вставив в формулу вместо букв a , b, c, d, e нужные цифры.


D


L


-


a


b


c


d



a


Тип датчика (включает кабель для вакуума, выталкиватель кристалла и руководство пользователя. Кристаллы приобретают отдельно): Двухкристальный (трубки с водой параллельны грани кристалла) с затвором - А


b


Длина датчика – (см. примечания 1 и 3)
Cтандартная длина: 203-711 мм В комплекте два кабеля для вакуума 781 мм.(см. примечание 6) - E Удлинённый вариант: больше 711 мм; макс. 1219 мм. В комплекте кабель для вакуума 1524 мм. (см. примечание 6) - G


c


Вакуумный ввод: Нет – 0; 1-дюймовое резьбовое соединение – 3; CF40 - 4


d


Присоединение вакуумного ввода
Датчик не соединён с вакуумным вводом – 0
Cварное соединение датчика с вакуумным вводом – 7
Регулируемая длина с обжимными фитингами Ultra-Torr®. (Возможность регулирования длины датчика, используя обжимные фитинги Ultra-Torr®) - 8



Не поставляются (см. примечания 4 и 5) следующие комбинации: DL-AE47, DL-AG47 Возможна поставка компонентов по заказу, с особыми изгибами и другие нестандартные компоненты – обращайтесь к нашим специалистам.


Примечание 1:
Заказы на датчики со сварным соединением с вакуумным вводом принимаются только при условии получения компанией INFICON чертежа с указанием размеров, подписанного заказчиком. После подтверждения особой длины или запуска заказа в производство, заказ отменить нельзя. Компания INFICON предоставляет форму спецификации длины датчика. Обращайтесь к специалистам "ЭмЭсЭйч Техно".
Примечание 2:
Конфигурация вакуумного ввода меняется в зависимости от выбранных вариантов (тип вакуумного ввода, соединение). Пример. SL-A0E37 использует вакуумный ввод, номер для заказа 002-042, а SL-A1E37 использует вакуумный ввод, номер для заказа 750-030-G1.
Примечание 3:
Длина датчика измеряется от центра кристалла, наиболее близкого к концу датчика, до уплотняющей поверхности вакуумного ввода со стороны вакуума (см. чертёж).
Примечание 4:
Для выполнения заказа фронтального двухкристального датчика вместе с вакуумным вводом с 1-дюймовым резьбовым соединением требуется специальный вакуумный ввод (уточните у наших специалистов возможность изготовления).
Примечание 5:
При заказе фронтального двухкристального датчика в комбинации с вакуумным вводом с фланцем CF40, соединение не может быть сварным из-за пространственных ограничений фланца CF40.
Примечание 6:
При заказе датчиков без сварного присоединения (вариант «0» или «8» заказа), трубки изготавливаются длиной 762 мм для диапазона длины «Е» и 1219 мм для диапазона длины «G» датчиков.
Использование кабеля длиной 1524 мм может потребовать применение специального генератора.


Технические характеристики


Технические характеристики фронтального двухкристального датчика серии DL-A _ 0 0


Макс. температура прогрева без водяного охлаждения


130 °C


Макс. температура рабочей изотермической среды при минимальном расходе охлаждающей воды


400 °C


Размер (макс. огибающая без затвора)


39,12 мм x 82,04 мм x 49,54 мм


Длина трубки для воды и коаксиального соединителя, датчик типа «Е»


762 мм в стандартном исполнении


Замена кристалла


Фронтальная установка; моноблочная конструкция для облегчения замены
Затвор откидывается вверх для облегчения доступа к держателям


Установка


Два #4-40 резьбовых отверстия на задней стороне корпуса датчика



Требования установки


Вакуумный ввод


Кол-во: (1) 2 ¾-дюймовый фланец ConFlat® с двумя соединителями Microdot®, 2 проходных фитинга для присоединения трубки подачи воды и воздуха
Или
Кол-во: (1) 1-дюймовое резьбовое соединение с двумя соединителями Microdot®, 2 проходных фитинга для присоединения трубок подачи воды и воздуха


Прочее


1) Клапанный блок для воздуха – IPN 750-420-G1
2) Два генератора или 1 генератор и (779-220-G1) переключатель CrystalTwo, предназначенный для взаимодействия с контроллером напыления
3) Для автоматической работы конструкция контроллера процесса напыления должна допускать реализацию этой функции


Коммуникации


1) мин. расход воды 150-200 куб.см./мин. при температуре не более 30 °C (не допускать замерзания) 2) воздух, 80 psig (5,5 бар) [552 кПа] очень маленький объём, макс. 110 psig (7,6 бар) [760 кПа]


Качество воды


Хладагент не должен содержать хлориды поскольку может возникнуть коррозионное растрескивание. Сильно загрязнённая вода может уменьшить охлаждающую способность



Материалы


Корпус и держатель


Нержавеющая сталь типа 304


Пружины


Позолоченный сплав бериллия и меди


Трубки для воды


Бесшовная трубка из нержавеющей стали 304 с наружным диаметром 3,175 мм и толщиной стенки 0,381 мм


Соединитель (Microdot)


Нержавеющая сталь, покрытие Teflon® или стекло


Изоляторы


> 99 % Al2O3


Провод


Медь, покрытая тефлоном


Другие механические части


Нержавеющая сталь типа 304 или 18-8


Твёрдый припой


Жаропрочный сплав Ni-Cr для работы в вакууме


Кристалл


Диаметр 13,97 мм



Технические характеристики вакуумного ввода


Примечание. Технические характеристики комбинации вакуумного ввода с датчиком определяются худшими характеристиками каждого компонента.


Соединительная часть под обжимной фитинг или 1-дюймовое резьбовое соединение:


Материалы


Нержавеющая сталь 304, Teflon®, керамика, никель-бериллий, VITON®


Температура


Температура рабочей среды до 300 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения


Установка


Диаметр отверстия 1,015" ± 0,010"



Соединительная часть под приваренный фланец CF 40


Материалы


Нержавеющая сталь 304, Teflon®, керамика, никель-бериллий


Температура


Температура рабочей среды до 450°C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения


Установка


Под фланцы 2 ¾ типа ConFlat с мин. внутренним диаметром 1,375 дюйма



Список запасных частей


007-007


Пружинный замок (для держателя кристалла)


007-023


Керамический держатель


007-044


Кабель для вакуума, 78,1 см


080-018


Установочный винт (для коаксиального соединителя розеточного типа)


082-044


Тефлоновый винт (для плоской пружины)


750-115-P4


Муфта (для сильфонного узла)


750-169-P2


Сильфонный узел (без муфты)


750-171-P1


Кнопочный пружинный контакт


750-172-G1


Держатель кристалла (с пружинным замком)


750-174-P2


Коаксиальный соединитель розеточного типа


750-175-P1


Изолятор (под плоской пружиной)


750-188-P2


Плоская пружина


750-210-G1


Блок затвора (сильфонный узел, шток в сборе и затворный узел)


750-215-G1


Шток в сборе (часть блока затвора)


750-216-G1


Затворный узел (часть блока затвора)


321-039-G13


Кабель для вакуума, 152,4 см



Габаритные размеры


Спецификация длины датчика DL-AEOO или DL-AGOO, используемого в комбинациях с вакуумным вводом

2х фронтальный 1.jpg

DL-AEOO или DL-AGOO


Фронтальный двухкристальный датчик (только датчик)

2х фронтальный 2.jpg

2х фронтальный 2-1.jpg

DL-AEOO или DL-AGOO


Фронтальный двухкристальный датчик (только датчик)

2х фронтальный 3.jpg

2х фронтальный 3-1.jpg 

Вакуумный ввод, используемый в комбинации с датчиком DL-A _ 4 0

2х фронтальный 4.jpg

Вакуумный ввод, используемый в комбинации с датчиком DL-A _ 4 8

2х фронтальный 5.jpg