Двухкристальный датчик Cool Drawer


В двухкристальном датчике Cool Drawer™ имеется резервный кристалл, наличие которого оченьДвухкристальный датчик Cool Drawer важно для критических процессов, где желательно иметь второй кристалл в вакуумной камере. Литой из нержавеющей стали корпус датчика с водяным охлаждением, два держателя кристалла Cool Drawer и затвор с пневматическим приводом обеспечивают прочность головки датчика, а резервный кристалл – дополнительную надёжность. Этот датчик не использует коаксиальные кабели внутри камеры, что способствует поддержанию более высокой чистоты в вакуумной камере и надёжности вакуумной системы в целом.


Конфигурации датчика


Изготавливаются датчики двух конфигураций: стандартная и прямоугольная модели. Стандартная модель предназначена для установки сбоку или снизу камеры, в которой охлаждающие трубки расположены параллельно грани кристалла. Прямоугольная модель предназначена для установки сверху вакуумной камеры, в которой трубки с охлаждающей водой расположены перпендикулярно грани кристалла. Головка датчика каждой из этих конфигураций может иметь длину в диапазоне 10-66 см.


Вакуумные вводы


Компания INFICON предлагает вакуумные вводы двух типов с разными способами присоединения на выбор: с 1-дюймовым резьбовым соединением или фланцем CF40.


Присоединение вакуумного ввода


Двухкристальные датчики Cool Drawer можно заказать в комбинации с вакуумным вводом. Соединение вакуумного ввода с датчиком может быть сварным или выполнено с помощью обжимного фитинга.
Обжимные фитинги облегчают регулировку, не требуя пайки и сварки. Длина головки датчика регулируется в диапазоне 10-66 см. Датчик с привареным фланцем CF40 выбирают для высокотемпературных процессов, в которых критерий надёжности является самым важным. Изготовленный с использованием таких материалов, как нержавеющая сталь и керамика, этот датчик пригоден для приложений, требующих прогрева при высокой температуре (см. технические характеристики).
Двухкристальный датчик Cool Drawer с фланцем CF40 предварительно установлен в специальный двухкомпонентный 2 ¾-дюймовый вакуумный ввод ConFlat®. Это обеспечивает независимое от фланца вращение головки датчика и позволяет обйти пространственные ограничения из-за фланца. Длину вакуумного ввода с датчиком выбирают в диапазоне 10-66 см.

Каталог по контроллерам и кварцевым измерителям толщины тонких пленок Inficon (PDF, Русский, 6 МБ)


Преимущества


- Два кристалла
- Держатель кристалла Cool Drawer
- Не требуются соединительные кабели для вакуума
- Затвор кристалла
- Варианты вакуумного ввода:
Фланец CF40
1-дюймовое резьбовое соединение
- Датчик с приваренным фланцем CF40 допускает прогрев
- Регулируемая длина при заказе с обжимными фитингами
- Комбинации вакуумного ввода с датчиком со сварным соединением, согласно спецификации длины, указанной заказчиком

2Cool Drawer схема.jpg


Информация для заказа


Двухкристальный датчик Cool Drawer (с проводящими трубками)


Для заказа Вам нужно составить код, вставив в формулу вместо букв a , b, c, d нужные цифры.


D


D


-


a


b


c


d



a


Тип датчика (Руководство по эксплуатации в комплекте. Кристаллы приобретают отдельно)
Стандартный двухкристальный датчик Cool Drawer (трубки с водой параллельны грани кристалла) с затвором – A
Прямоугольный двухкристальный датчик Cool Drawer (трубки с водой перпендикулярны грани кристалла) с затвором - B


b


Длина датчика – см. примечание 3; Длина: 102-660 мм (см. примечание 6) - F


c


Вакуумный ввод – см. примечание 2
1-дюймовое резьбовое соединение – 3;
фланец CF40 (двухкомпонентный) - 4


d


Присоединение вакуумного ввода
Сварное соединение датчика с вакуумным вводом – 7
Регулируемая длина с обжимными фитингами Ultra-Torr®. (Возможность регулирования длины датчика, используя обжимные фитинги Ultra-Torr®). Не используются в комбинациях с вакуумным вводом с фланцем CF40 - 8



НЕ выпускаются следующие комбинации: CDD-AF48, CDD-BF48 Возможна поставка компонентов по заказу, с особыми изгибами и другие нестандартные компоненты – обращайтесь к специалистам "ЭмЭсЭйч Техно".


Примечание 1:
Если вам необходимы датчики со сварным соединением с вакуумным вводом, обращайтесь к специалистам "ЭмЭсЭйч Техно", так как заказы на датчики со сварным соединением с вакуумным вводом принимаются только при условии получения компанией INFICON чертежа с указанием размеров, подписанного заказчиком. После подтверждения особой длины или запуска заказа в производство, заказ отменить нельзя. Компания INFICON предоставляет форму спецификации длины датчика.
Примечание 2:
Конфигурация вакуумного ввода меняется в зависимости от выбранных вариантов (тип вакуумного ввода, соединение). Пример. В CDD-AF47 и -BF47 используется двухкомпонентная гибридная конструкция вакуумного ввода из-за пространственных ограничений, обусловленных стандартным фланцем CF40.
Примечание 3:
Длина датчика измеряется от центра кристалла, наиболее близкого к концу датчика, до уплотняющей поверхности вакуумного ввода со стороны вакуума (см. чертёж).
Примечание 6:
При заказе датчиков без сварного присоединения (вариант «8» заказа), трубки изготавливаются длиной приблизительно 762 мм для стандартного датчика и 660 мм для прямоугольного датчика.


Технические характеристики


Технические характеристики двухкристального датчика Cool Drawer серии CDD


Поверхность


Нержавеющая сталь, позолоченный Cool Drawer™


Охлаждающая вода


0,2 галлона в минуту, подаётся по трубке наружным диаметром 1/8 дюйма (не допускать замерзания)


Кристалл


Промышленного стандарта, диаметр 0,55 дюйма


Подача воздуха


Регулируемая в диапазоне 55-60 psi


Электрическое подключение


2 стандартных розетки типа BNC с наружной стороны



Соединительная часть под обжимной фитинг или 1-дюймовое резьбовое соединение


Материалы


Нержавеющая сталь 304, Teflon®, керамика, никель-бериллий, VITON®


Температура


Температура рабочей среды до 300 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения


Установка


Диаметр отверстия 1,015" ± 0,010"



Соединительная часть под приваренный фланец CF 40


Материалы


Нержавеющая сталь 304, керамика, никель-бериллий


Температура


Температура рабочей среды до 450°C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения


Установка


Под фланцы 2 ¾-дюйма типа ConFlat®



Список запасных частей


Номер для заказа


Описание


147401


Затвор


147402


Шарнир


147403


Привод


147406


Опора сильфона


147407


Крышка сильфона


147408


Шток с резьбой


147411


Промежуточное кольцо


147424


Сильфонная труба


084-205


#4-40 x 3/16 винт со шлицем «Филлипс»


800128


#4 пружинная шайба


800371


Винт с буртиком


800372


Шайба


800416


Установочный винт 6-32 x 3/16 дюйма


803313


Пружина


123223-2


Паяный проводник в сборе – короткий вывод


803102


Уплотнительное кольцо для регулируемого вакуумного ввода с 5 разъемами


803261


Шайба для регулируемого вакуумного ввода с 5 разъемами



Габаритные размеры


CDD-AF37, CDD-AF38 и CDD-BF38


Комбинации двухкристального датчика Cool Drawer с вакуумным вводом

2Cool Drawer 1.jpg

2Cool Drawer 1-2.jpg

2Cool Drawer 1-3.jpg

CDD-AF47 и CDD-BF47


Комбинации двухкристального датчика Cool Drawer с вакуумным вводом

2Cool Drawer 2.jpg 

Спецификация длины датчика CDD-AF37, используемого в комбинациях с вакуумным вводом

2Cool Drawer 3.jpg


Спецификация длины датчика CDD-AF47, используемого в комбинациях с вакуумным вводом

2Cool Drawer 4.jpg


Спецификация длины датчика CDD-BF47, используемого в комбинациях с вакуумным вводом

2Cool Drawer 5.jpg


Спецификация длины датчика CDD-BF37, используемого в комбинациях с вакуумным вводом

2Cool Drawer 6.jpg