Однокристальный датчик Cool Drawer


Однокристальные датчики Cool Drawer™ допускают установку кристалла в датчик сбоку, что удобно в системах, где недостаточно свободного пространства для установки кристалла спереди. В однокристальных датчиках Cool Drawer используется держатель кристалла Cool Drawer в корпусе с водяным охлаждением, который служит теплоизолирующим экраном для обеспечения высоких рабочих характеристик кристалла и его надёжного функционирования.


Конфигурации датчика


Датчик Cool Drawer рис.png

Изготавливаются датчики двух конфигураций: Стандартная и прямоугольная модели. Стандартная модель предназначена для установки сбоку или снизу камеры, в которой охлаждающие трубки расположены параллельно грани кристалла. Прямоугольная модель предназначена для установки сверху вакуумной камеры, в которой трубки с охлаждающей водой расположены перпендикулярно грани кристалла. Обе модели датчика изготавливаются как с затвором кристалла, так и без затвора.
Подвергающийся воздействию электрод кристалла полностью заземлён для эффективного предотвращения возможных проблем из-за электромагнитных помех. В корпусе имеются два резьбовых (4-40) отверстия для удобного монтажа.


Вакуумные вводы


Компания INFICON предлагает вакуумные вводы двух типов с разными способами присоединения на выбор: вакуумный ввод с 1-дюймовым резьбовым соединением или 2 ¾-дюймовым фланцем ConFlat®.


Присоединение вакуумного ввода


Однокристальные датчики Cool Drawer можно заказать в комбинации с вакуумным вводом. Соединение вакуумного ввода с датчиком может быть сварным или выполнено с помощью обжимного фитинга.
Обжимные фитинги облегчают регулировку, не требуя пайки и сварки. Вакуумный ввод можно смещать вдоль трубок, что позволяет регулировать длину внутри вакуумной системы в диапазоне 10-66 см. После определения нужной длины, обжимные фитинги позволяют выполнить герметичное присоединение усилием от руки.
Датчик с приваренным фланцем CF40 выбирают для высокотемпературных процессов, в которых критерий надёжности является самым важным. Изготовленный с использованием таких материалов, как нержавеющая сталь и керамика, этот датчик пригоден для приложений, требующих прогрева при высокой температуре (см. технические характеристики).


Каталог по контроллерам и кварцевым измерителям толщины тонких пленок Inficon (PDF, Русский, 6 МБ)


Преимущества


- Не требуются соединительные кабели для вакуума
- Держатель кристалла Cool Drawer
- Простая установка
- Датчик с приваренным фланцем CF40 допускает прогрев
- Варианты вакуумного ввода:
Фланец CF40
1-дюймовое резьбовое соединение
- Регулируемая длина при заказе с обжимными фитингами
- При заказе с обжимными фитингами никакой пайки не требуется
- Комбинации вакуумного ввода с датчиком со сварным соединением, согласно спецификации длины, указанной заказчиком

Датчик Cool Drawer.jpg


Информация для заказа


Однокристальный датчик Cool Drawer (с проводящей трубкой)


Для заказа Вам нужно составить код, вставив в формулу вместо букв a , b, c, d, e нужные цифры.


C


D


S


-


a


b


c


d


e



a


Тип датчика (кристаллы приобретают отдельно)
Стандартный Cool Drawer (трубки с водой параллельны грани кристалла) – A; Прямоугольный Cool Drawer (трубки с водой перпендикулярны грани кристалла) - B


b


Затворный узел; Нет 0; стандартный затвор 1


c


Длина датчика – см. примечание 1; Длина: 102-660 мм - F


d


Вакуумный ввод – см. примечание 2; 1-дюймовое резьбовое соединение – 3; CF40 - 4


e


Присоединение вакуумного ввода
Сварное соединение датчика с вакуумным вводом – 7 (см. примечание 3)
Регулируемая длина с обжимными фитингами Ultra-Torr®. (Возможность регулирования длины датчика, используя обжимные фитинги Ultra-Torr®) Не используются в комбинациях с затвором и вакуумным вводом с фланцем CF40 - 8



НЕ выпускаются следующие комбинации: CDS-A1F48, CDS-B1F48. Возможна поставка компонентов по заказу, с особыми изгибами и другие нестандартные компоненты – обращайтесь к нашим специалистам.


Примечание 1:
Для заказа датчиков со сварным соединением с вакуумным вводом особой длины обращайтесь к специалистам ЭмЭсЭйч Техно.
Примечание 2:
Конфигурация вакуумного ввода меняется в зависимости от выбранных вариантов (тип вакуумного ввода, соединение). Пример. В CDS-A1F47 и-B1F47 используется двухкомпонентная гибридная конструкция вакуумного ввода из-за пространственных ограничений, обусловленных стандартным фланцем CF40.
Примечание 3:
Длина датчика измеряется от центра кристалла до уплотняющей поверхности вакуумного ввода со стороны вакуума (см. чертёж)
Примечание 6:
При заказе датчиков без сварного присоединения (вариант «8» заказа), трубки изготавливаются длиной 30 дюймов для стандартного датчика и 26 дюймов для прямоугольного датчика.


Технические характеристики однокристального датчика Cool Drawer серии CDS


Поверхность


Нержавеющая сталь, позолоченный Cool Drawer


Охлаждающая вода


0,2 галлона в минуту, подаётся по трубке наружным диаметром 1/8 дюйма (не допускать замерзания)


Электрическое подключение


1 стандартная розетка типа BNC с наружной стороны


Кристалл


Промышленного стандарта, диаметр 0,55 дюйма


Подача воздуха


Датчикам с затвором требуется регулируемая подача в диапазоне 55-60 psi



Cоединительная часть под обжимной фитинг или 1-дюймовое резьбовое соединение:


Материалы


Hержавеющая сталь 304, Teflon®, керамика, никель-бериллий, VITON®


Температура


температура рабочей среды до 300 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения


Установка


Диаметр отверстия 1,015" ± 0,010"



Cоединительная часть под приваренный фланец CF 40


Материалы


Нержавеющая сталь 304, Teflon®, керамика, никель-бериллий


Температура


температура рабочей среды до 450°C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения


Установка


Под фланцы 2 ¾ типа ConFlat с мин. внутренним диаметром 1,375 дюйма



Список запасных частей


Номер для заказа


Описание


123417


Держатель затвора


123418


Крышка сильфона


123419


Затвор


147207


Крышка и сильфон в сборе


147402


Шарнир


147403


Привод


147406


Опора сильфона


147407


Крышка сильфона


147408


Шток с резьбой


147411


Промежуточное кольцо


147424


Сильфонная труба


084-205


#4-40 x 3/16 винт со шлицем «Филлипс»


800128


#4 пружинная шайба


800371


Винт с буртиком


800372


Шайба


800416


Установочный винт 6-32 x 3/16 дюйма


803313


Пружина


123223-1


Паяный проводник в сборе – длинный вывод


123223-2


Паяный проводник в сборе – короткий вывод


147206-2


Сильфон с трубой 35 дюймов


803102


Уплотнительное кольцо для регулируемого вакуумного ввода с 5 отверстиями


803261


Уплотнительное кольцо для регулируемого вакуумного ввода с 5 отверстиями



Габаритные размеры


CDS-A0F38 и CDS-B0F38


Комбинации однокристального датчика Cool Drawer с вакуумным вводом

Датчик Cool Drawer габариты 1.jpg

Датчик Cool Drawer габариты 1-2.jpg 

CDS-A0F47 и CDS-B0F47


Комбинации однокристального датчика Cool Drawer с вакуумным вводом

Датчик Cool Drawer габариты 2.jpg

Датчик Cool Drawer габариты 2-2.jpg

Спецификация длины датчика CDS-A0F47, используемого в комбинациях с вакуумным вводом

Датчик Cool Drawer габариты 3.jpg


Спецификация длины датчика CDS-A1F47, используемого в комбинациях с вакуумным вводом

Датчик Cool Drawer габариты 4.jpg


Спецификация длины датчика CDS-B0F47, используемого в комбинациях с вакуумным вводом

Датчик Cool Drawer габариты 5.jpg


Спецификация длины датчика CDS-B1F47, используемого в комбинациях с вакуумным вводом

Датчик Cool Drawer габариты 6.jpg


Спецификация длины датчика CDS-B0F37, используемого в комбинациях с вакуумным вводом

Датчик Cool Drawer габариты 7.jpg