Установки высокотемпературной диссоциации со ступенями влажного скруббирования

Компания MSH Techno предлагает высокоэффективные системы нейтрализации газов, принцип работы которых основан на разложении путем высокотемпературного воздействия и влажного скруббирования.


Системы нейтрализации газов EBARA моделей G5 и GDC 250 применяются для утилизации побочных продуктов следующих процессов: PECVD (плазмохимическое осаждение), LPCVD и UHVCVD (химическое осаждение из газовой вазы в вакууме), травление, MOCVD (химическое осаждение из газовой фазы металлоорганических соединений), любых промышленных технологий, связанных с выделением перфторуглеродов (ПФУ).


Для подбора модели системы нейтрализации газов, получения подробной информации об оборудовании для очищения / утилизации опасных газов или получения прайс-листа (коммерческого предложения), пожалуйста, свяжитесь c нашими специалистами по электронной почте info@msht.ru или по телефонам +7 (495) 660-88-97, +7 (495) 280-74-78.