«Сухой» гелиевый течеискатель Inficon UL5000


«Сухой» гелиевый течеискатель Inficon UL5000 - эталон чувствительности и скорости. Течеискатель UL5000 обеспечивает быструю откачку, минимальное время отклика и предназначен для применения в наиболее критических и требовательных приложениях в области полупроводниковой, атомной, аэрокосмической и медицинской промышленностей.


UL5000.jpgДостоинства и преимущества гелиевого течеискателя INFICON UL5000:


- Внесен в Государственный реестр СИ РФ

- Широкий диапазон измерения (более 15 декад)
- Очень быстрая откачка и короткое время отклика
- Полностью металлический корпус на колесиках для мобильности и удобства эксплуатации
- Программный алгоритм HYDRO-S (подавление влияния десорбции воды со стенок вакуумной системы) для более быстрого установления состояния готовности к испытанию (время готовности к поиску течи на уровне 1E-9 мбар л/с для камеры 100л в пять раз меньше в сравнении с основными конкурентами)
- I-CAL (программный алгоритм расчета скорости утечки), чтобы обеспечить минимальное время отклика при обнаружении течи во всем диапазоне измерений
- Функция нуля с автоматической регулировкой времени интегрирования для быстрого получения достоверных результатов испытания
- Продуманная конструкция вакуумной системы с надежным спиральным насосом и ДВУМЯ турбомолекулярным насосами, первый высокопроизводительный ТМН откачивает непоредственно испытываемый объем, а второй с несколькими входными каналами, обеспечивает поддержание требуемого давления в блоке масс-спектроскопии

- Спиральный насос, используемый в течеискателях UL1000Fab и UL5000 разработан специально для компании Inficon и поставляется только в составе течеискателей Inficon, он обладает рекордной степенью сжания гелия среди аналогичных форвакуумных насосов. В том числе поэтому точность, быстрота реагирования и значение предельной обнаруживаемой течи у сухих течеискателей Inficon лучше, чем практически у любого конкурента.
- Вращаемый дисплей с пользовательским интерфейсом обеспечивает простое и удобное управление и взаимодействие с течеискателем
- Легкое и безопасное перемещение по помещению силами одного человека, продуманная конструкция: за счет пары колесиков большого диаметра гелиевый течеискатель легко перемещать через пороги
- Функции самозащиты для предотвращения загрязнения течеискателя UL5000 гелием и мелкодисперсными частицами
- Цикл автоматической продувки для очистки и подготовки гелиевого течеискателя к проведению испытания
- Обновления ПО рассылаются по электронной почте
- Новая конструкция рабочей установки с рабочей поверхностью оптимальной высоты, с ковриком для снятия электростатического заряда и инструментальным ящиком с замком
- Надежная масс-спектрометрическая система с ионным источником с двойным катодом (3 года гарантии) обеспечивает длительное время безотказной работы и низкие эксплуатационные расходы
- Встроенная контрольная течь для внутренней калибровки, чтобы обеспечить достоверные результаты испытаний


Свидетельство
об утверждении типа средств измерений
DE.C.31.001.A №47169
Выдано Федеральным агентством по техническому регулированию и метрологии РФ (РОССТАНДАРТом)

В случае внезапного отключения электропитания течеискатель UL5000 продолжает работать автономно, используя для генерации электроэнергии турбомолекулярный насос, ротор которого вращается по инерции в вакууме. В этом режиме питание получает система управления и клапанный блок, позволяя даже полностью обесточенному прибору автоматически провести все необходимые процедуры для штатного отключения. Это одна из встроенных функций, благодаря которой достигается беспрецедентный уровень надежности и отказоустойчивости гелиевых течеискателей Inficon.


Компания ЭмЭсЭйч Техно Москва оказывает услуги по проверке на герметичность и поиску течей с применением гелиевых масс-спектрометрических течеискателей Inficon серии UL.


Типичные применения:


- Проверка на герметичность компонентов, сборок и больших вакуумных камер, используемых в полупроводниковой промышленности и производстве плоских дисплеев
- Проверка на герметичность компонентов, сборок, узлов и систем в аэрокосмической промышленности
- Проверка на герметичность медицинского оборудования: кардиостимуляторов, катетеров, рентгеновских трубок, узлов магниторезонансных томографов
- Проверка на герметичность в атомной промышленности


Гелиевый течеискатель Inficon UL5000


ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ


UL5000


Мин. обнаруживаемая течь для гелия (в режиме Vacuum)*):

меньше 5 х 10-12 мбар л/с

Мин. обнаруживаемая течь для гелия (в режиме Sniffer)*):

меньше 5 х 10-8 мбар л/с

Макс. обнаруживаемая течь для гелия, которую можно отобразить

3 мбар л/с

Макс. давление на входе
Режим GROSS (Макроскопический):
Режим FINE (Микроскопический):
Режим ULTRA (Сверхчувствительный):


15 мбар
2 мбар
0,4 мбар

Быстрота действия форвакуумного насоса (скорость откачки при создании вакуума)

25 м3/ч при 50 Гц
30 м3/ч при 60 Гц

Скорость откачки гелия
Режим GROSS (Макроскопический):
Режим FINE (Микроскопический):
Режим ULTRA (Сверхчувствительный):


макс. 8 л/с
макс. 20 л/с
больше 20 л/с

Постоянная времени сигнала интенсивности течи (заглушен, 63% от окончательного значения)

меньше 1 с

Время откачки до состояния готовности к течеисканию (остаточное давление 5 x 10-9)
Без дополнительного объема
При испытательном объеме 1 л
При испытательном объеме 10 л


5 с
48 с
150 с

Время отклика (для скорости утечки 10-9 мбар л/с)
При объеме до 1 л
При объеме до 10 л


меньше 1 с
меньше 2 с

Продувка (при испытательном объеме 100 л)

приблизительно 25 с

Время установления состояния готовности к работе

меньше 3 мин

Регистрируемые массы

2, 3, 4 а.е.м. (H2, 3He, He)

Масс-спектрометр

секторное (180°) магнитное поле

Источник ионов

двойной иридиевый катод, покрытый оксидом иттрия

Скорость утечки калиброванной течи TL7 (встроенная) в диапазоне

10-7 мбар л/с

Единицы измерения (по выбору)

мбар л/с, Па м3/с, торр л/с, атм см3/с, g/a (только в режиме Sniffer), промилле

Присоединительный фланец

40 KF

Настраиваемые уровни срабатывания

2

Интерфейс

RS 232

Входы/Выходы

ПЛК-совместимые для управляющих данных и информации о состоянии

Выход для самописца

2 х 10 В

Напряжения питания

230 В (±10%) 50 Гц
115 В (±10%) 60 Гц
100 В (±10 %) 50/60 Гц

Потребляемая мощность

1200 ВА

Габаритные размеры (Д х Ш х В)

1080 мм х 530 мм х 1083 мм (42,5" x 21" x 42,6")

Масса

140 кг

Степень защиты

IP 40

Допустимая температура окружающего воздуха (во время работы)

+10 °C.... +40 °C

*) согласно AVS и EN 1518



ИНФОРМАЦИЯ ДЛЯ ЗАКАЗА


ШИФР ИЗДЕЛИЯ

UL5000, 230 В, 50 Гц, сетевая вилка евростандарта
UL5000, 100/115 В, 50/60 Гц, сетевая вилка североамериканского стандарта
В комплект всех моделей UL5000 входят инструментальный ящик и коврик для снятия электростатического заряда

550-500
550-501

Комплект для дистанционного управления
Портативный блок
Соединительный кабель (обязательно), 4 м
Удлинительный кабель, 10 м (макс. длина кабеля-удлинителя 34 м)


200 99 022 2
00 99 027
14022

Принадлежности:
Держатель резервуара с гелием
Пакет ПО LeakWare для ПК
Щуп с соединительным шлангом SL200, 4 м
Переходник 40/25 KF для подсоединения SL200 к впускному отверстию UL5000


551-001
140 90
14005
211-283



Инструкция: Гелиевый течеискатель UL5000


Инструкция: Гелиевый течеискатель UL5000: Запасные части


Инструкция: Гелиевые течеискатели UL1000 (Fab) / UL5000: Описание интерфейса


Каталог приборов для течеискания INFICON (Германия)