Сухой гелиевый течеискатель Inficon UL1000 Fab


Сухой гелиевый течеискатель Inficon UL1000 Fab с полностью безмасляной системой откачки — это автоматический прибор, обеспечивающий быструю откачку и минимальное время отклика для удовлетворения высоких требований приложений в области полупроводниковой, атомной и аэрокосмической промышленностей, а также во всех применениях, где требуется течеискание с идеально чистой безмасляной откачкой.


UL1000FAB.jpgДостоинства и преимущества:


- Внесен в Государственный реестр СИ РФ

- Широкий диапазон измерения (более 15 декад)
- Быстрая откачка и короткое время отклика
- Полностью металлический корпус на колесикаx для мобильности и удобства эксплуатации
- I-CAL (программный алгоритм расчета скорости утечки), чтобы обеспечить минимальное время отклика при обнаружении течи во всем диапазоне измерений
- Функция нуля с автоматической регулировкой времени интегрирования для быстрого получения достоверных результатов испытания
- Продуманная конструкция вакуумной системы с надежным спиральным насосом и турбомолекулярным насосом с несколькими входными каналами, который обеспечивает быструю откачку гелия с высокой степенью сжатия 

- Спиральный насос, используемый в течеискателях UL1000Fab и UL5000 разработан специально для компании Inficon и поставляется только в составе течеискателей Inficon, он обладает рекордной степенью сжания гелия среди аналогичных форвакуумных насосов. В том числе поэтому точность, быстрота реагирования и значение предельной обнаруживаемой течи у сухих течеискателей Inficon лучше, чем практически у любого конкурента.  
- Вращаемый дисплей с пользовательским интерфейсом обеспечивает простое и удобное управление и взаимодействие с гелиевым течеискателем
- Легкое и безопасное перемещение по помещению силами одного человека, продуманная конструкция: за счет пары колесиков большого диаметра гелиевый течеискатель легко перемещать через пороги
- Функции самозащиты для предотвращения загрязнения течеискателя UL1000 Fab гелием и мелкодисперсными частицами
- Цикл автоматической продувки для очистки и подготовки течеискателя к проведению испытания
- Надежная масс-спектрометрическая система с ионным источником с двойным катодом (3 года гарантии) обеспечивает длительное время безотказной работы и низкие эксплуатационные расходы
- Встроенная контрольная течь для внутренней калибровки, чтобы обеспечить достоверные результаты испытаний
- Встроенная функция программного меню «Auto Leak Test» (Автоматическое течеискание) для проведения испытания герметичных электронных компонентов. При использовании дополнительной испытательной камеры TC1000, это испытание выполняется автоматически. Течеискатели Indicon с камерой TC1000 - идеальное решение для производителей интегральных микросхем в герметичных корпусах для проверки своих изделий на герметичность!


Свидетельство
об утверждении типа средств измерений
DE.C.31.001.A №47169
Выдано Федеральным агентством по техническому регулированию и метрологии РФ (РОССТАНДАРТом)

В случае внезапного отключения электропитания течеискатель UL1000 Fab продолжает работать автономно, используя для генерации электроэнергии турбомолекулярный насос, ротор которого вращается по инерции в вакууме. В этом режиме питание получает система управления и клапанный блок, позволяя даже полностью обесточенному прибору автоматически провести все необходимые процедуры для штатного отключения. Это одна из встроенных функций, благодаря которой достигается беспрецедентный уровень надежности и отказоустойчивости гелиевых течеискателей Inficon.


Компания ЭмЭсЭйч Техно Москва оказывает услуги по проверке на герметичность и поиску течей с применением гелиевых масс-спектрометрических течеискателей Inficon серии UL.


Типичные применения:


- проверка на герметичность ТВЭЛ-ов

- проверка на герметичность технологических и исследовательских установок в атомной промышленности 

- проверка на герметичность узлов и агрегатов в космической промышленности


Испытания на герметичность:
- электронных компонентов

- вакуумных камер и установок
- сборочных узлов используемых в полупроводниковых устройствах, плоских дисплеях 



Видео пример, демонстрирующий быстроту и легкость работы с гелиевым течеискателем Inficon UL 1000 Fab и камерой TC 1000 при проверке на герметичность электронных компонентов методом обратного тока:





Гелиевый течеискатель Inficon UL1000 Fab


ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ


UL1000 Fab


Мин. обнаруживаемая течь для гелия (в режиме Vacuum)*):

меньше 5 х 10-12 мбар л/с

Мин. обнаруживаемая течь для гелия (в режиме Sniffer)*):

меньше 5 х 10-8 мбар л/с

Макс. обнаруживаемая течь для гелия, которую можно отобразить

0,1 мбар л/с

Макс. давление на входе
Режим GROSS (Макроскопический):
Режим FINE (Микроскопический):
Режим ULTRA (Сверхчувствительный):


15 мбар
2 мбар
0,4 мбар

Быстрота действия форвакуумного насоса (скорость откачки при создании вакуума)

25 м3/ч при 50 Гц
30 м3/ч при 60 Гц

Скорость откачки гелия
Режим GROSS (Макроскопический):
Режим FINE (Микроскопический):
Режим ULTRA (Сверхчувствительный):


макс. 8 л/с
7 л/с
2,5 л/с

Постоянная времени сигнала интенсивности течи (заглушен, 63% от окончательного значения)

меньше 1 с

Время откачки до состояния готовности к течеисканию
При испытательном объеме 1 л
При испытательном объеме 10 л
При испытательном объеме 50 л
При испытательном объеме 200 л


менее 1 с
10 с
42 с
2 мин 48 с

Время готовности к течеисканию в сверхчувствительном режиме(течи до 5 x 10-9 мбар*л/сек)
Без дополнительного объема
При испытательном объеме 1 л
При испытательном объеме 10 л




5 с
10 с
80 с

Время отклика (для скорости утечки 10-9 мбар л/с)
При объеме до 1 л
При объеме до 10 л


меньше 1 с
меньше 2 с

Время установления состояния готовности к работе

меньше 3 мин

Регистрируемые массы

2, 3, 4 а.е.м. (H2, 3He, He)

Масс-спектрометр

секторное (180°) магнитное поле

Источник ионов

двойной иридиевый катод, покрытый оксидом иттрия

Скорость утечки калиброванной течи TL7 (встроенная) в диапазоне

10-7 мбар л/с

Единицы измерения (по выбору)

мбар л/с, Па м3/с, торр л/с, атм см3/с, g/a (только в режиме Sniffer), промилле

Присоединительный фланец

25 KF

Настраиваемые уровни срабатывания

2

Интерфейс

RS 232

Входы/Выходы

ПЛК-совместимые для управляющих данных и информации о состоянии

Выход для самописца

2 х 10 В

Напряжения питания

230 В (±10%) 50 Гц
115 В (±10%) 60 Гц
100 В (±10 %) 50/60 Гц

Потребляемая мощность

1100 ВА

Габаритные размеры (Д х Ш х В)

1068 мм х 525 мм х 850 мм (42" x 21" x 33")

Масса

110 кг

Степень защиты

IP 40

Допустимая температура окружающего воздуха (во время работы)

+10 °C.... +40 °C

*) согласно AVS и EN 1518



ИНФОРМАЦИЯ ДЛЯ ЗАКАЗА


ШИФР ИЗДЕЛИЯ

UL1000 Fab, 230 В, 50 Гц, сетевая вилка евростандарта
UL1000 Fab, 100/115 В, 50/60 Гц, сетевая вилка североамериканского стандарта

550-100
550-101

Испытательная камера TC1000 с браслетом для снятия электростатического заряда
Переходник контрольной течи для камеры TC1000, фланец DN 25 KF

551-005
200 001 797

Комплект для дистанционного управления
Портативный блок
Соединительный кабель (обязательно), 4 м
Удлинительный кабель, 10 м (макс. длина кабеля-удлинителя 34 м)


200 99 022
200 99 027
140 22

Принадлежности:
Инструментальный ящик с замком, съемный
Держатель резервуара с гелием
Коврик для снятия электростатического заряда
Щуп с соединительным шлангом SL200, 4 м
Пакет ПО LeakWare для ПК


551-000 551-001
551 002
140 05
140 90


Инструкция: Гелиевые течеискатели UL1000 Fab и UL1000


Каталог приборов для течеискания INFICON (Германия)