Вакуумный бесштоковый цилиндр CYV


4cyv_1.jpgМагнитный вакуумный бесштоковый цилиндр CYV выпускается типоразмеров 15 и 32, предназначен для установки внутри вакуумной или шлюзовой камеры и выполнения операций транспортировки в условиях разрежения до 10-4 Па.


- В совокупности с затвором XGT позволяет создавать компактные транспортные системы вакуумных установок
- Конструкция бесштокового цилиндра исключает утечки внутрь вакуумного объема
- Усилие на каретку передается за счет сил магнитного сцепления
- Применяемые материалы и конструктивные решения минимизируют появление продуктов износа и загрязнение вакуумного объема
- Предусмотрена регулировка длины хода в крайних положениях (±2)
- Конструкция цилиндра обеспечивает плавный разгон, торможение и безударную остановку каретки без использования специальных пневматических схем управления. Это гарантирует безопасную работу с хрупкими, деликатными образцами (монокристаллическими пластинами)
- Компактные габариты и возможность работы в условиях вакуума позволяют эффективно использовать пространство и получать оптимальные компоновки транспортных систем
- Регулируемая длина хода
- Не требует вакуумных вводов движения, что повышает надежность оборудования и упрощает конструкцию
- Низкий уровень образования продуктов износа (в среднем не более 0,1 частицы размером более 0,1 мкм за цикл)


Технические характеристики


Типоразмер (номинальный диаметр поршня)

15

32

Давление в вакуумной камере

От атмосферного до 1,3х10-4 Па (абс)

Атмосфера в вакуумной камере

Воздух, инертный газ

Рабочая среда (управление)

Сжатый воздух, инертный газ

Принцип действия

Бесштоковый магнитный пневмоцилиндр двустороннего действия

Испытательное давление, МПа

0,5

Рабочее давление, МПа

0,05-0,3

Натекание, Па∙м3/с

1,3х10-7 при температуре окружающей среды (без учета газопроницаемости)

Макс. температура отжига1,°C

150

Температура рабочей и окружающей среды2,°C

От -10 до 60

Скорость поршня (мм/с)

50-300

Диапазон регулировки длины хода

От -2 до 0 мм на каждой стороне (от -4 до 0 мм на обоих концах)

Демпфирование

Пневматическое синусное демпфирование

Присоединение

5/16-24UNF

7/16-20UNF

Усилие магнитного сцепления, H

59

268

Смазка

Вакуумная смазка для узла линейной направляющей и внутренней поверхности гильзы

1. Во время отжига цилиндр не должен работать
2. Температура, при которой цилиндр может полноценно функционировать