Клапаны мягкого напуска XVD с корпусом из нержавеющей стали


XVD.jpgПредназначены для напуска газов в вакуумную камеру. Схема двухступенчатого открытия обеспечивает быстрый и деликатный напуск атмосферного давления в вакуумную камеру, что минимизирует возмущения и повышает чистоту процесса


- Диафрагма из нержавеющей стали
- Встроенные регулируемые дроссели
- Регулировка двух Ду: клапана с малым проходным сечением для предварительного напуска и основного клапана с большим проходным сечением


Принцип действия: Для предотвращения появления возмущений в вакуумной камере, напуск атмосферного давления производится в два этапа. На начальном этапе открывается клапан с небольшим регулируемым проходным сечением. Затем открывается основной клапан (большого проходного сечения, которое также можно регулировать).


Технические характеристики


Модели

XVD2-02V

XVD2-02S

Тип клапана

Нормально закрытый с пневмоуправлением

Рабочая среда

Азот, воздух, инертные газы

Рабочая температура (0С)

5-60°С (макс. температура отжига 150°С)

Рабочее давление

0,2 Мпа- 1х10-6 Па

Условный проход, мм

Ø3

Эквивалентное сечение, мм

Основной напуск

4,6

Предварит. напуск

0,2-4,6

Натекание, Па∙м3/с

Внутр.

5х10-9

Без учета газопроницаемости

Наружное

1,3х10-11

Без учета газопроницаемости

Через фитинги

1,3х10-11

1,3х10-10

Присоединение

VCR®

Swagelock®

Присоединительный диаметр

1/4B

Основные материалы

Корпус: SUS316L / Сильфон: SUS316L, 304 / Уплотнения: FKM

Обработка внутренних каналов

Электрополирование (кроме сильфона)

Управляющее давление (Мпа)

0,4-0,7 (2 канала управления: S для предварит. напуска и M для главного клапана)

Присоед. резьба для управл. давления

M5

Ресурс (млн циклов)

0,5

Вес (кг)

0,5