Угловые клапаны мягкой откачки XLD (V), XMD


xmd.jpgКомпания MSH Techno предлагает к поставке высоковакуумные угловые клапаны производства SMC (Япония). Благодаря регулярным поставкам клапаны поддерживаются в наличии на складе в Москве.


Предназначены для герметичного перекрытия вакуумных магистралей и ступенчатого управления проводимостью.


Особенности и достоинства:


- Реализуют смену двухступенчатого открытия (с регулировкой Ду малого сечения)
- Корпус из алюминия (XLD) или нержавеющей стали (XMD)
- Унифицированные присоединительные размеры ISO KF(NW), K(DN), CF от 25 до 160 мм
- Упрощают схему вакуумной магистрали из-за отказа от байпасного канала
- Снижают нагрузку на насос и риск попадания масла в объем в момент начала откачки
- Препятствуют образованию конденсата при быстрой откачке
- Снижают риск появления возмущений в камере и повышают чистоту процесса
- Ресурс более 2 млн. циклов (материал уплотнения FKM)


Технические характеристики


Модель

Корпус из алюминия

XLD(V)-25

XLD(V)-40

XLD(V)-50

XLD(V)-63

XLD(V)-80

XLD(V)-100

XLD(V)-160

Корпус из нержавеющей стали

XMD-25

XMD-40

XMD-50

XMD-63

XMD-80

-

-

Тип клапана

Нормально закрытый

Рабочая среда

Вакуум; газы, совместимые с алюм. сплавом (A6063), с нерж. сталью SUS304/316L и материалом уплотнений


Рабочая температура, 0С

5-60 (выскотемпературное исполнение: 5-150)


Рабочее давление, Па

XLD(V)

От атмосферного до 1х10-5

XMD

От атмосферного до 1х10-6

Проводимость в молекулярном режиме, л/с1

Главный клапан

14

45

80

160

200

300

800

Клапан предварительной откачки

0,5-3

2-8

2,5-11

4-18

6,5-31,5

Натекание, Па∙м3

внутреннее

1,3х10-10 при температуре окружающей среды (без учета газопроницаемости)

Наружное

1,3х10-11 при температуре окружающей среды (без учета газопроницаемости)

Стандарт фланца

XLD(V)

KF(NW)

KF(NW), K(DN)

XMD

KF(NW)

KF(NW), CF

KF(NW)

KF(NW), K(DN), CF

KF(NW), K(DN)

-

-

Материалы

Корпус XLD(V) – алюминиевый сплав, XMD – SCS13 (аналог SUS304), бесшовный сильфон – нерж. сталь SUS316L, уплотнения – FKM (стандарт).

Обработка поверхностей

Внешних – твердое анодирование, внутренних – без покрытия

Управляющее давление, МПа

0,4-0,7

Присоединение управляющего воздуха

XLD, XMD

M5

Rc 1/8

XLDV

M5 (порты P, R)


Вес, кг2

XLD

0,5

1,2

1,8

3,4

5,6

11,5

20

XLDV

0,57

1,3

1,9

3,5

5,7

11,6

20,1


XMD

0,65

1,5 (1,86)

2,2

4,1 (5,46)

6,8

-

-

1. Проводимость соответствует проводимости колена аналогичного сечения
2. Вес в скобках для клапана с фланцем CF