Высоковакуумный щелевой затвор с пневматическим приводом XGT


XGT.jpgПредназначен для взаимной изоляции вакуумных объемов в транспортных системах со шлюзовой или кластерной камерами


- Идеально подходит для работы с плоскими образцами (пластинами) диаметром до 300 мм - Благодаря прямоугольной форме она имеет компактные габариты. В комбинации с вакуумным манипулятором CYV или роботом позволяет создавать оптимальные транспортно-загрузочные системы
- L-образная траектория открытия затвора предотвращает износ уплотнений и загрязнение вакуумных объемов
- Сильфонный узел защищен от повреждения из-за попадания посторонних предметов (частиц пластин и т.п.)
- Блокировка от аварийного падения давления управления или несанкционированного срабатывания
- Стандартные габаритные и присоединительные размеры по SEMI MESC*(32х222, 46х236, 50х336 мм), специальные исполнения – по запросу
- Бесконтактный опрос положения (герконовые датчики положения D-A93)
- Ресурс более 2 млн. циклов
- Кассетный и открытый типы
- По запросу: высокотемпературные исполнения, исполнения с подогревом корпуса, со сменным сильфоном, с анодированием поверхностей, контактирующих со средой, исполнения из нерж. стали


Технические характеристики


Номер для заказа

XGT22*-32222

XGT22*-46236

XGT31*-50336

Типоразмер, мм

200

300

Размеры окна (ВхШ), мм

32х222

46х236

50х336

Количество направляющих

2

1

Рабочее давление (Па, абс)

От 100 до 10-6

Перепад давлений на затворе (кПа)

Не более 4

Давление управления пневопривода (МПа)

0,45-0,6

Внутреннее натекание (Па∙м3/с)

уплот. кольцо FKM

6,5х10-10

Уплот. Кольцо: Kalrez®

6,5х10-9

Внутреннее натекание (Па∙м3/с) при обратном давлении ≤0,1 Мпа (абс) без учета газопроницаемости

уплот. кольцо FKM

6,5х10-8

Уплот. Кольцо: Kalrez®

6,5х10-7

Внешнее натекание, Па∙м3

6,5х10-11

Рабочая температура, °С1

Затвор

5-150

Привод

5-60

Рабочая среда

Инертные газы

Время цикла откр/закр, сек

0,6-1

Материалы

Уплотнение: FKM, Kalrez®4079 (опция); сильфон: AM350; Затвор: Ф6063; Корпус, крышка: А5052; Прочее: нерж. сталь SUS304

Направление откачки

любое

Монтажное положение

Любое

Размер порта пневмопривода

M5

Rc1/8

Блокировки

Блокировка затвора в открытом /закрытом положениях3

Расход сжатого воздуха на цикл (л)




Вес (кг)

Бескорпусного типа

8

14

Корпусного типа

12

20

Корпусного типа: Half MESC

-

12

-

Корпусного типа: Full MESC

-

11

-

1.Если температура на затворе выше 60◦С (в случае прогрева и т.п.), рабочая температура на пневмоприводе может превысить указанный диапазон. В этом случае необходимо принять меры по охлаждению пневмопривода.
2. Промежуток времени с момента срабатывания пневмораспределителя до открытия/закрытия затвора.
3. Герметичность по затвору может быть потеряна.