Угловые клапаны с электромагнитным управлением и корпусом из алюминия XLD(V), XMD


xld.jpgКомпания MSH Techno предлагает к поставке электромагнитные угловые клапаны производства SMC (Япония). Благодаря регулярным поставкам клапаны поддерживаются в наличии на складе в Москве.


Угловые клапаны с электромагнитным управлением и корпусом из алюминия XLD(V), XMD предназначены для герметичного перекрытия вакуумных магистралей и ступенчатого управления проводимостью.


Преимущества клапанов


- Реализуют смену двухступенчатого открытия (с регулировкой Ду малого сечения)
- Корпус из алюминия (XLD) или нержавеющей стали (XMD)
- Унифицированные присоединительные размеры ISO KF(NW) и K(DN) от 16 до 160 мм
- Упрощают схему вакуумной магистрали из-за отказа от байпасного канала
- Снижают нагрузку на насос и риск попадания масла в объем в момент начала откачки
- Препятствуют образованию конденсата при быстрой откачке
- Снижают риск появления возмущений в камере и повышают чистоту процесса
- Ресурс более 2 млн. циклов (материал уплотнений FKM)

Технические характеристики


Модель

Корпус из алюминия

XLD(V)-25

XLD(V)-40

XLD(V)-50

XLD(V)-63

XLD(V)-80

XLD(V)-100

XLD(V)-160

Корпус из нержавеющей стали

XMD-25

XMD-40

XMD-50

XMD-63

XMD-80

-

-

Тип клапана

Н.З.

Рабочая среда

Вакуум, газы, совместимые с алюм. Сплавом (A6063), нерж. Сталью SUS304/316 и материалом уплотнений

Рабочая температура

XLD, XMD

5 ~ 60 (высокотемпературное исполнение: 5~150)

XLDV

5~50

Рабочее давление (Па)

XLD(V)

От атмосферного до 1х10-5

XMD

От атмосферного до 1х10-6

Проводимость в молекулярном режиме (л/с)(1)

Главный клапан

14

45

80

160

200

300

800

Клапан предварительной откачки

0,5-3

2-8

2,5-11

4-18

6,5-31,5

Натекание

Па.м3

Внутр.

1,3х10-10 при температуре окружающей среды (без учета газопроницаемости)

Наруж.

1,3х10-11 при температуре окружающей среды (без учета газопроницаемости)

Стандарт фланца

XLD(V)

KF(NW)

KF(NW), K(DN)

XMD

KF(NW)

KF(NW), CF

KF(NW)

KF(NW), K(DN), CF

KF(NW), K(DN)

-

-

Материалы

Корпус – алюминиевый сплав, бесшовный сильфон – нерж. Сталь SUS316L, уплотнения – FKM(стандарт)

Обработка поверхностей

Внешних: анодирование, внутренних: без покрытия (стандарт).

Управляющее давление (Мпа)

0,4-0,7

Присоединение управляющего воздуха

XLD,XMD

M5

Rc 1/8

XLDV

M5 (порты P,R)

Вес (кг)

XLD

0,5

1,2

1,8

3,4

5,6

11,5

20

XLDV

0,57

1,3

1,9

3,5

5,7

11,6

20,1


XMD

0,65

1,5 (1,86)

2,2

4,1 (5,46)

6,8




1. Проводимость эквивалентна колену аналогичного сечения
2. При температуре окр. среды (без учета газопроницаемости) и стандартном уплотнении FKM