Комбинированный мембранно-ёмкостный вакуумметр с датчиками Байярда-Альперта и Пирани BCG450


641x80px.jpg


BCG450_Inficon.jpgКомбинированный мембранно-ёмкостный вакуумметр с датчиками Байярда-Альперта и Пирани компании INFICON, BCG450, реализует преимущества трёх различных технологий в одном компактном экономичном модуле с диапазоном измерения 5x10-10 - 1500 мбар (3,75x10-10 - 1125 торр) технологического и базового давления. Вакуумметр BCG450 сконструирован для замены трёх датчиков (ионизационный датчик с горячим катодом, конвекционный датчик Пирани с расширенным диапазоном и реле вакуума) позволяя сократить расходы и сэкономить свободное пространство оборудования.


Преимущества комбинированного вакуумметра BCG450


- Вакуумметр BCG450 позволяет сократить расходы и экономно использовать свободное пространство оборудования, а также упрощает установку и настройку вакуумной системы
- Независимость результатов измерения от типа газа при давлении больше 10 торр обеспечивает более надёжное управление загрузочным шлюзом для смеси любых газов
- Блокировка Пирани защищает горячий катод от преждевременного перегорания
- Автоматическая регулировка Пирани для высокого вакуума уменьшает вмешательство оператора
- Измерение перепада давления при атмосферном давлении исключает неопределённость, обусловленную изменением атмосферного давления
- Легко заменяемый чувствительный элемент с хранящимися в устройстве данными калибровки гарантирует высокую воспроизводимость результатов измерений
- Дополнительно: графический дисплей и интерфейс промышленной сети
- Соответствует положениям директивы (RoHS), ограничивающей содержание вредных веществ


Области применения комбинированного вакуумметра BCG450


- Измерение давления в техпроцессах производства полупроводников и шлюзовых камерах
- Промышленные установки для напыления покрытий
- Измерение и контроль вакуума в системах в диапазоне от низкого до сверхвысокого вакуума


Информация для заказа



BCG450

без ЖКИ

BCG450

с ЖКИ

BCG450-SP

с Profibus DP(2)

BCG450-SD

с DeviceNetTM2

BCG450-SR

с RS485(1)(2)

DN 25 ISO-KF

353-550

353-552

353-554

353-557

353-559

DN 40 CF-R

353-551

353-553

353-556

353-558

353-560

Сменный датчик 25 ISO-KF

354-492

354-492

354-492

354-492

354-492

Сменный датчик 40 CF-R

354-493

354-493

354-493

354-493

354-493

1) по запросу
2) не изготавливается с ЖКИ


Принадлежности


Блок питания 24 В пост. тока / линия RS232C

353-511

Отражатель

353-512

Центрирующее кольцо с отражателем DN 25 ISO-KF

211-113


Технические характеристики BCG450 (стандартное исполнение)



BCG450 (с индикатором)

Диапазон измерения, мбар (торр)

5x10-10…1500 (3.75x10-10…1125)

Точность, % от показания

10-8… 50 мбар

±15

50 … 950 мбар

±5

950 … 1050 мбар

±2,5

Повторяемость,10-8 … 10-2 мбар, % от показания

5

Выбор уровня давления для включения ионизации горячим катодом (выбор: высокий/низкий уровень давления, команда через интерфейс RS232 или промышленной сети), мбар

2x10-2 (высокий)

8x10-3 (низкий)

Давление, макс., бар (абс.)

5

Температура

Эксплуатация (окружающая среда) , °C

0 … +50

Эксплуатация, °C

-20 … +70

Прогрев

Фланец, °C

80

Без электроники, °C

150

Напряжение питания, В/А, пост. ток

20 … 28 / 0.8

Аналоговый выходной сигнал, В

0 … 10.3

Диапазон измерения, В

0.774 … 10.3

Зависимость напряжения от давления, В / декада

0.75

Сигнал ошибки, В

0.3 / 0.5

Мин. нагрузка, кОм

10

Интерфейс (цифровой)(2)

RS232C

Соединитель

D-sub, 15-контактный, вилка

Макс. длина кабеля, м(3)

100

Материалы, соприкасающиеся с областью вакуума

Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, нержавеющая сталь, стекло

Внутренний объём KF/CF , см3 (дюйм3)

24 (1.46) / 34 (2.1)

Масса KF/CF, г

285 / 550

Степень защиты

IP30

1) Точность снижается при обезгаживании
2) Одновременное использование RS232C или контроллеров серии VGC400 с передачей данных через промышленную сеть запрещено
3) Для передачи данных по стандарту RS232C менее 30 м


Технические характеристики (DeviceNet™)



BCG450-SD DeviceNet™

Протокол

DeviceNet™, группирование только 2 ведомых

Скорость передачи данных, Кбод

125, 250, 500 выбор переключателем или по сети, используя программу

Длина кабеля, м (фут)

125 Кбод

500 (1650)

250 Кбод

250 (825)

500 Кбод

100 (330)

MAC-адрес

2 переключателя (адрес 00-63) или по сети, используя программу

Число узлов в сети

до 64 узлов в одном сегменте

Цифровые функции

считывание значения давления, выбираемые единицы измерения: торр, мбар, Па

функция обезгаживания

мониторинг состояния вакуумметра

безопасное состояние позволяет определять поведение в случае ошибки

подробные сведения при предупреждении или тревоге

Аналоговые функции

аналоговый вывод (0-10 В) для индикации давления

2 настраиваемых реле А+В

Индикаторы для визуального оповещения

СИД состояние сети (зелёный/красный)

СИД состояние модуля (зелёный/красный)

Технические характеристики

DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (Профиль вакуумметра)

Тип прибора

"CG" для комбинированного вакуумметра

Обмен сообщениями с ведомым (ввод-вывод)

только последовательный опрос

Настраиваемые реле

2

Диапазон, мбар

1x10-9 … 1400

Контакт реле

замыкающий, сухой контакт

Гистерезис, % от показания

10

Номинальные рабочие напряжение и ток контакта, В/А, пост. ток

60 / 0.5

Соединитель

D-sub, 15-контактный, вилка

Напряжение питания для DeviceNet™ , В/А, пост. ток

11 … 25 / 0.5

Напряжение питания для вакуумметра, В/А, пост. ток

20 … 28 / 0.8

Электрический соединитель для DeviceNet™

Microstyle, 5-контактный

Электрический соединитель для BCG (аналоговый вывод, напряжение питания, уставки)

D-sub, 15-контактный, вилка


Технические характеристики (Profibus DP)



BCG450-SP Profibus DP

Скорость передачи, Кбод

9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

Скорость передачи, Мбод

1.5 / 12

Адрес

2 переключателя (адрес 00-127) или по сети, используя программу

Цифровые функции

считывание значения давления, выбираемые единицы измерения: торр, мбар, Па

функция обезгаживания

мониторинг состояния вакуумметра

безопасное состояние позволяет определять поведение в случае ошибки

подробные сведения при предупреждении или тревоге

Аналоговые функции

аналоговый вывод (0-10 В) для индикации давления

2 настраиваемых реле А+В

Настраиваемые реле

2

Диапазон, мбар

1x10-9 … 1400

Контакт реле

замыкающий, сухой контакт

Гистерезис, % от показания

10

Номинальные рабочие напряжение и ток контакта, В/А, пост. ток

60/0,5

Электрический соединитель для Profibus DP

D-sub, 9-контактный, розетка

Электрический соединитель для BPG (аналоговый вывод, напряжение питания, уставки)

D-sub, 15-контактный, вилка


Технические характеристики (RS485)



BCG450-SR RS485

Скорость передачи, Кбод

0.3 / 1.2 / 2.4 / 4.8 / 9.6 / 19.2 / 28.8

Адрес

2 переключателя (адрес 00-127) или по сети, используя программу

Цифровые функции

считывание значения давления, выбираемые единицы измерения: торр, мбар, Па

функция обезгаживания, настройка предела показаний датчика Пирани

мониторинг состояния вакуумметра

подробные сведения при предупреждении или тревоге

Аналоговые функции

аналоговый вывод (0-10 В) для индикации давления

2 настраиваемых реле А+В

Настраиваемые реле

2

Диапазон, мбар

1x10-9 … 1400

Контакт реле

замыкающий, сухой контакт

Гистерезис, % от показания

10

Номинальные рабочие напряжение и ток контакта, В/А, пост. ток

60/0,5

Электрический соединитель для Profibus DP

D-sub, 9-контактный, розетка

Электрический соединитель для BPG (аналоговый вывод, напряжение питания, уставки)

D-sub, 15-контактный, вилка


Каталог вакуумметров, датчиков вакуума и блоков индикации Inficon (Лихтенштейн) на русском языке