Мембранно-ёмкостные вакуумметры CDG100D


CDG045_200_INFICON.jpgМанометры SKY CDG100D компании INFICON являются наилучшим выбором для контроля и точного измерения полного Манометры SKY CDG100D Манометры SKY CDG100D давления. В вакуумметрах CDG100D предусмотрен контроль температуры при нагреве до 100°C для обеспечения превосходных эксплуатационных характеристик в требовательных техпроцессах производства полупроводников и плазменных процессах. Эти вакуумметры изготавливаются в исполнениях с пределом показаний от 100 миллиторр до 1000 торр, с фланцами наиболее широко используемых типов и распространёнными интерфейсами промышленной сети, и формируют линейный сигнал давления 0-10 В, не зависящий от типа газа. В мембранно-ёмкостных манометрах компании INFICON используется коррозионностойкая мембрана из сверхчистой корундовой керамики. Преимуществами керамического датчика являются более высокая стабильность сигнала, более быстрое восстановление после прорыва атмосферного воздуха, быстрый нагрев и очень продолжительный срок службы. Высококачественные высокорентабельные вакуумметры CDG компании INFICON для требовательных техпроцессов производства полупроводников, плазменных процессов и других вакуумных приложений.


Преимущества манометров SKY CDG100D


- Более низкая стоимость владения, нагрев в 2 раза быстрее, низкая потребляемая мощность
- Легкая интеграция, широкий выбор предела показаний, фланцев и интерфейсов, в стандартном исполнении предусмотрена возможность задания 2 уставок
- Лёгкая установка нуля нажатием одной кнопки или удалённой командой, настраиваемое смещение нуля
- Электрический соединитель для диагностики и быстрого техобслуживания
- Гарантия 2 года, более продолжительный срок службы, благодаря усовершенствованной концепции нагрева и защите вакуумметра
- Нет необходимости в повторной калибровке в долгосрочной перспективе, благодаря превосходной стабильности сигнала и повторяемости показаний даже в жёстких условиях приложений с плазменным процессом
- Соответствие требованиям и стандартам: CE, EN, UL, SEMI, RoHS


Каталог вакуумметров, датчиков вакуума и блоков индикации Inficon (Лихтенштейн) на русском языке


Области применения


- Техпроцессы производства полупроводников: травление, химическое осаждение из газовой фазы, осаждение из паровой фазы и др.
- Химические и коррозионные высокотемпературные техпроцессы
- Установки для осаждения тонких плёнок и вакуумные техпроцессы, требующие контроля вакуума


Информация для заказа


Для заказа Вам нужно составить код, вставив в формулу вместо букв a , b, c, d, e нужные цифры.


3


C


D


1


-


a


b


c


-


2


3


d


e



a

Предел показаний (F.S.)

3 - 0.1

4 - 0.25

5 - 0.5

6 - 1

7 - 2

8 - 5

9 - 10

A - 20

B - 50

C - 100

D - 200

E - 500

F - (только Торр) 1000

G - (только мбар) 1100

b

Единица измерения

5 - Торр (× 1.33 мбар; × 133 Pa)

6 - мбар (× 100 Pa)

c

Фланец

1 - DN 16 ISO-KF

3 - DN 16 CF-R

9 - Патрубок нар. диам. 1/2"

E - 8 VCR с внутренней резьбой

d

Интерфейс промышленной сети

0 - Нет

1 - DeviceNet

2 - Profibus

e

Исполнение

0 - Стандартное исполнение

B - Контроль давления(1)


1) Оптимальная настройка фильтра сигналов для контроля давления
Жирным шрифтом выделены варианты стандартного исполнения устройства
По запросу возможно изготовление с фланцем другого типа и другим измерительным диапазоном (F.S.)


Технические характеристики


Диапазон измерения F.S. (предел показаний)(1)

Торр,

Па,

Мбар

1000

133,322

1333

100

13,332

133

10

1,333

13,3

1

133

1,3

0,1

13

0.13

Точность

% от показания

0,2

Тепловой эффект

Нуль

% F.S./°C

0,0025

0,005

Тепловой эффект

Диапазон

% от показания/°C

0,02

Давление, макс.

кПа (абс.)

400

260

260

260

130

Разрешающая способность

% F.S.

0,003

0,003

0,003

0,003

0,003

Время отклика(2)

мс

30

30

30

30

130/30(3)

Наименьшее показание

% F.S.

0,01

Наименьшее рекомендуемое показание

% F.S.

0,05

Наименьшее рекомендуемое контролируемое давление

% F.S.

0,5

Температура

Эксплуатация (окружающая среда)

Прогрев (фланец)

Хранение

°C

+10 ... +50

≤110

–40 ... +65

Напряжение питания

14 ... 30 В, пост. Ток или ±15 В (±5%)

Потребляемая мощность

Во время нагрева

При рабочей температуре

Вт

≤15

≤10

Выходной сигнал (аналоговый)

В, пост. ток

0 ... +10

Уставка

Контакт реле

Гистерезис

В/А, пост. Ток

% F.S.

2 уставки (SP1, SP2)

≤30 / ≤0.5

1

Степень защиты

IP 40

Стандарты

EN 61000-6-3, EN 61010, UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1, SEMI S-2

Электрическое подключение

D-sub, 15-контактный, вилка

Электрический соединитель для диагностики

Протокол

RS232-C

Считывание

давление, состояние, ИД

Задание

уставки, фильтр, настройка нуля, возврат заводских настроек, смещение постоянной составляющей

Материалы, соприкасающиеся с областью вакуума

Корундовая керамика (AI2O3), нержавеющая сталь (AISI 316L4))


1) Нелинейность с гистерезисом, повторяемость при рабочей температуре окружающей среды 25°C без тепловых эффектов через 2 ч эксплуатации
2) Увеличение 10 …90% F.S.
3) Только для типа «контроль давления»
4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe


Технические характеристики (приборы с отображением показаний в торрах и другими диапазонами)


Диапазон измерения

F.S. (предел показаний)

торр

Па

мбар

500

66,661

666,61

200

26,664

267

50

6,666.1

66,67

20

2,666

26,7

5

666.61

6,6661

2

266.66

2,67

0.5

66.66

0,67

0.25

33,3

0,33

Точность(1)

% от показания

0,2


0,2


0,2


0,2


0,2


0,2



0,4


Тепловой эффект, Нуль

% F.S./°C

0,0025

0,005

Тепловой эффект, Диапазон

% от показания/°C

0,02

Давление, макс.

кПа (абс.)

400

260

260

260

260

260

260

130

Время отклика

мс

30

30

30

30

30

30

30

130


1) Нелинейность с гистерезисом, повторяемость при рабочей температуре окружающей среды 25 °C без тепловых эффектов через 2 ч эксплуатации
2) Увеличение 10 …90% F.S.
Другие характеристики см. в таблице выше


Технические характеристики (приборы с отображением показаний в мбар)


Диапазон измерения

F.S. (предел показаний)

Мбар

Па

1100

110,000

100

10,000

10

1,000

1

100

0,1

10

Точность(1)

% от показания

0,2

0,4

Тепловой эффект, Нуль

% F.S./°C

0,0025

0,005

Тепловой эффект, Диапазон

% от показания/°C

0,02

Давление, макс.

кПа (абс.)

400

260

260

260

130

Время отклика(2)

мс

30

30

30

30

130/30(3)


1) Нелинейность с гистерезисом, повторяемость при рабочей температуре окружающей среды 25 °C без тепловых эффектов через 2 ч эксплуатации
2) Увеличение 10 …90% F.S.
3) Только для типа «контроль давления»
Другие характеристики см. в таблицах «Технические характеристики (приборы в стандартном исполнении с отображением показаний в торрах)» и «Технические характеристики (другие приборы с отображением показаний в торрах)»


Технические характеристики (DeviceNet™)



CDG100D DeviceNet™

Протокол

DeviceNet™, группирование только 2 ведомых


Скорость передачи данных, Кбод

125, 250, 500 выбор переключателем или по сети, используя программу


Длина кабеля

125 Кбит/с, м (фут)

250 Кбит/с, м (фут)

500 Кбит/с, м (фут)

500 (1650)

250 (825)

100 (330)

MAC-адрес

адрес 00-63, выбор переключателем или по сети, используя программу

Цифровые функции: считывание

давление, состояние, ИД

Цифровые функции: задание

уставки, фильтр, настройка нуля, возврат заводских настроек, смещение постоянной составляющей

Спецификация

DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) (Профиль вакуумметра)

Тип прибора

вакуумметр "VG"

Обмен сообщениями с ведомым (ввод-вывод)

только последовательный опрос

Напряжение питания для вакуумметра через эл. соединитель D-sub

+14 … +30 В, пост. ток или ±15 В/ ?12 Вт

Напряжение питания для приёмопередатчика DeviceNet через эл. соединитель microstyle

24 В, ном./ <2 Вт (11 … 25 В)

Электрический соединитель для DeviceNet™

microstyle, 5-контактный, вилка

Электрический соединитель для CDG (аналоговый вывод, напряжение питания CDG, уставки)

D-sub, 15-контактный, вилка


Технические характеристики (Profibus DP)


Скорости передачи

Кбод

Мбод

9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

1.5 / 12

Адрес

адрес 00-125, выбор переключателем или по сети, используя программу

Цифровые функции: считывание

давление, состояние, ИД

Цифровые функции: задание

уставки, фильтр, настройка нуля, возврат заводских настроек, смещение постоянной составляющей

Электрический соединитель для Profibus DP

D-sub, 9-контактный, розетка

Электрический соединитель для CDG (аналоговый вывод, напряжение питания, уставки)

D-sub, 15-контактный, вилка