Квадрупольный масс-спектрометр Transpector XPR3L

Масс-спектрометр квадрупольный transpector xpr3L

Квадрупольный масс-спектрометр Transpector XPR3L - это идеальный вариант для оптимизации выпуска годных изделий при производстве жидкокристаллических экранов, солнечных фотогальванических элементов путём контроля состава и давления газа.


Газоанализатор Transpector XPR3L делает процесс мониторинга состава технологических газов и состояния вакуума недорогим и эффективным. Применение прибора XPR3L производства компании Inficon для контроля мониторинга процесса осаждения из паровой фазы позволяет в реальном времени получать данные о давлении технологического газа, соотношении газов, уровне загрязнённости, примесях и возможных течах. Эти данные можно использовать как для увеличения выпуска годных изделий, так и для повышения их качества. Мониторинг фона масс-спектрометром Transpector XPR3L помогает повысить эффективность и результативность программ профилактического техобслуживания за счёт более быстрого обнаружения и диагностики течей и загрязняющих веществ.


Недорогой анализ газов квадрупольным масс-спектрометром Transpector XPR3L


Квадрупольный масс-спектрометр Transpector XPR3L обеспечивает двухцелевую функциональность: мониторинг техпроцесса и контроль состояния вакуума, функционируя в диапазоне от сверхвысокого вакуума до 10-2 торр (2 х 10-2 торр по заказу). Миниатюрная конструкция квадруполя, используемого в приборе Transpector XPR3L, обеспечивает эту способность анализировать газы в расширенном диапазоне давления, не требуя какого-либо оборудования для преобразования давления, сохраняя компактный размер прибора и низкие издержки. Недорогой рентабельный прибор мониторинга техпроцессов, допускающий применение в масштабируемых производственных системах.


Повышение выпуска годных изделий и их качества


Квадрупольный масс-спектрометр Transpector XPR3L позволяет увеличить выпуск годных изделий, уменьшить количество брака и повысить качество продукции путём непрерывного автоматического мониторинга парциального давления технологического газа, соотношения газов, а также обнаружить и определить уровень загрязнённости и возможные примеси.


Особенности и возможности газоанализатора Transpector XPR3L


- Газоанализатор Transpector XPR3L обеспечивает экономичную двухцелевую функциональность: мониторинг техпроцесса и контроль состояния вакуума, функционируя в диапазоне от сверхвысокого вакуума до 10-2 торр (2 х 10-2 торр по заказу)
- недорогой рентабельный прибор мониторинга техпроцессов, допускающий применение в масштабируемых производственных системах
- масс-спектрометр квадрупольный повышает выпуск годных изделий, уменьшает количество брака и повышает качество продукции путём непрерывного автоматического мониторинга давления технологического газа, соотношения газов и возможных загрязняющих веществ
- ускоряет восстановление ВЭУ и повышает производительность, контролируя состояние вакуума, обнаруживая течи и определяя загрязняющие химические соединения с высокой чувствительностью и низким уровнем минимального обнаруживаемого парциального давления
- квадрупольный масс-спектрометр работает в диапазоне масс 1-100 а.е.м., защищая ваши инвестиции и уменьшая риск, благодаря своей способности обнаруживать широкий диапазон химических соединений, загрязняющих веществ или побочных продуктов
- благодаря совместимости с системой анализа и мониторинга FabGuard, газоанализатор обеспечивает надёжные усовершенствованные диагностику и контроль процесса


Повышение производительности


Ускоряет восстановление ВЭУ в газоанализаторе Transpector XPR3L, контролируя состояние вакуума, обнаруживая течи и определяя загрязняющие химические соединения. ВЭУ в приборе Transpector XPR3L обеспечивает высокую чувствительность и низкое минимальное измеряемое парциальное давление для быстрой и достоверной проверки состояния вакуума или выявления и устранения неполадок.


Диапазон 100 а.е.м.


Прибор Transpector XPR3L работает в диапазоне масс 1-100 а.е.м., защищая ваши инвестиции и уменьшая риск, благодаря своей способности обнаруживать широкий диапазон химических соединений, загрязняющих веществ или побочных продуктов.


Эффективный анализ данных для увеличения выпуска годных изделий


Квадрупольный масс-спектрометр Transpector XPR3L совместим с ПО TWare32 для определения характеристик техпроцесса и облегчения управления газоанализатором, сбора и отображения данных. Этот газоанализатор также совместим с системой анализа и мониторинга FabGuard – пакетом программ для обеспечения надёжной усовершенствованной диагностики и контроля процесса. ПО FabGuard имеет простой интуитивно понятный интерфейс, обеспечивает расширенную диагностику, более эффективное выявление неполадок и их классификацию, а также надёжный контроль техпроцесса в реальном времени. Запрограммированные сложные алгоритмы практически исключают подачу ложных сигналов тревоги при изменениях во время техпроцесса. ПО FabGuard также предоставляет эффективные статистические и аналитические функции для более совершенного выявления неполадок и их классификации.


Применения газоанализатора Transpector XPR3L


- Производство солнечных и фотогальванических элементов
- Производство ЖК экранов
- Мониторинг процесса осаждения из паровой фазы
- Контроль давления и соотношения технологических газов
- Обнаружение и определение загрязняющих химических соединений
- Обнаружение и локализация течей (воздух, гелий, вода, другие пары)
- Восстановление ВЭУ, устранение неполадок и контроль основного состояния вакуума


Наш опыт – это ваше конкурентное преимущество


Компания «ЭмЭсЭйч Техно» является официальным представителем компании INFICON, и совместно с ней предоставляет группы опытных профессиональных специалистов по разработке прикладных решений, обладающих глубокими и обширными знаниями в области производственных процессов, и ресурсы для установки, анализа и поддержки во всех регионах.


Технические характеристики квадрупольного масс-спектрометра Transpector XPR3L


Диапазон масс (а.е.м.)

1-100

Разрешающая способность (согласно AVS 1993)

менее 1 а.е.м. при измерении на уровне 10% от высоты пика для масс 4, 20, 28 и 40 а.е.м.

Макс. рабочее давление

с опцией блокировки датчиком Пирани

без блокировки датчиком Пирани

линейный режим работы

20Е-3 торр

10Е-3 торр

10Е-3 торр

Чувствительность (номинальная)

для ЦФ при 40 эВ/токе эмиссии 200 мкА

для ВЭУ при 70 эВ/токе эмиссии 400 мкА


> 4E-7 А/торр

> 8E-3 А/торр

Мин. измеряемое парциальное давление*

для ЦФ при 40 эВ/токе эмиссии 200 мкА

для ВЭУ при 70 эВ/токе эмиссии 400 мкА


< 1E-9 торр

< 6E-12 торр

Мин. обнаруживаемая концентрация

50 ppm

Стабильность отношения пиков (28/40)

для ЦФ

менее 2% за 24 ч

Тип фильтра масс

Квадруполь

Тип детектора

цилиндр Фарадея (ЦФ) и вторично-электронный умножитель (ВЭУ)

Стабильность позиции пика по оси масс

для ЦФ при давлении аргона 1Е-4 торр и постоянной температуре

менее 0,1 а.е.м. за 24 ч**

Температурный коэффициент

для ЦФ при давлении аргона 1Е-4 торр

менее 1% от высоты пика на 1ºС

Макс. рабочая температура датчика

150 °C

Макс. допустимая температура прогрева (без электроники)

200 °C

Рабочая температура (окружающей среды)

20-50 °C


ПРИМЕЧАНИЯ. Все технические характеристики приведены для состояния прибора после его прогрева в течение 30 минут.
*) Минимальное обнаруживаемое парциальное давление вычисляется как среднеквадратическое отклонение шума делённое на чувствительность датчика, измеренную за время выдержки 4 секунды.
**) Активна фиксация пика (Peak Lock) для стабильности позиции пика по оси масс в течение 24 часов.