Фронтальный термостойкий датчик


Фронтальный термостойкий датчик INFICON обеспечивает подтверждённые испытаниямиФронтальный термостойкий датчик надёжность и долговечность, а также имеет наилучшую тепловую стабильность по сравнению с любой другой головкой датчика, имеющейся на рынке. Термостойкий датчик изготовлен с использованием таких материалов как нержавеющая сталь 304, молибден, инконель, никель и алюминий специально, чтобы выдерживать длительное воздействие температуры прогрева до 450 °C (только для прогрева, подача воды требуется для контроля реального процесса напыления). Конструкция с фронтальной установкой обеспечивает лёгкую установку держателя кристалла в тех приложениях, где недостаточно пространства для установки сбоку.


Конфигурации датчика


Фронтальный термостойкий датчик изготавливается в конфигурации для стандартной установки, когда трубки для воды параллельны грани кристалла. По выбору, можно заказать датчики с затвором кристалла с пневматическим приводом для защиты кристалла во время нагрева источника, когда он не используется во время напыления другого материала или для продления срока службы кристалла с помощью RateWatcher™.
Подвергающийся воздействию электрод кристалла полностью заземлён для эффективного предотвращения возможных проблем из-за электромагнитных помех.


Вакуумный ввод и его присоединение


Все термостойкие датчики изготавливаются с приваренным фланцем 2 ¾-дюйма (CF40) ConFlat® вакуумного ввода. Необходимо заполнить форму спецификации длины датчика, предоставляемую компанией INFICON, прежде чем делать заказ и приложить заполненную форму к заказу.Обращайтесь к специалистам "ЭмЭсЭйч Техно".


Каталог по контроллерам и кварцевым измерителям толщины тонких пленок Inficon (PDF, Русский, 6 МБ)


Преимущества


- Термостойкая сварная и паяная конструкция
- Температура прогрева до 450 °C
- Затвор кристалла (по заказу)
- Держатель кристалла с фронтальной установкой
- Простая установка
- Вакуумный ввод с фланцем CF 40
- Пайка или приваривание к вакуумному вводу не требуются
- Комбинация вакуумного ввода с датчиком со сварным соединением изготавливается согласно спецификации длины, указанной заказчиком


Информация для заказа


Фронтальный термостойкий датчик


Для заказа Вам нужно составить код, вставив в формулу вместо букв a , b, c нужные цифры.


B


K


-


a


b


c



a


Тип датчика (Руководство по эксплуатации и выталкиватель кристалла в комплекте. Кристаллы приобретают отдельно)
Установка сверху (трубки с водой параллельны грани кристалла) - A


b


Затворный узел Нет – 0; стандартный затвор - 1


c


Длина датчика – см. примечание 3
Датчики с затвором
Выберите в диапазоне: 17-101,6 см –F
Датчики без затвора
Выберите в диапазоне: 10,2-101,6 см



Возможна поставка компонентов по заказу, с особыми изгибами и другие нестандартные компоненты – обращайтесь к нашим специалистам.


Примечание 1:
Заказы принимаются только при условии получения чертежа с указанием размеров, подписанного заказчиком. Подтверждённый заказ отменить нельзя. Длина датчика измеряется от центра кристалла до уплотняющей поверхности вакуумного ввода со стороны вакуума (см. чертёж). Компания INFICON предоставляет форму спецификации длины датчика.Обращайтесь к специалистам "ЭмЭсЭйч Техно".
Примечание 2:
Все термостойкие датчики изготавливаются с приваренным фланцем CF40.
Примечание 3:
Трубка подачи воздуха затвору присоединяется к вакуумному вводу фитингами VCR для возможности замены в ходе эксплуатации.

термостойкий схема.jpg


Технические характеристики


Термостойкий датчик без затвора серии BK-AOF


Макс. температура


450 °C в течение длительного времени (только для прогрева, подача воды требуется для контроля реального процесса напыления)


Размер головки датчика (макс. огибающая)


34 мм х 35 мм х 24 мм (высота)


Замена кристалла


Фронтальная установка; моноблочная конструкция для облегчения замены Блокирующая рукоятка кулачкового типа облегчает извлечение и обеспечивает эффективную теплопередачу.


Установка


Четыре #4-40 резьбовых отверстия на задней стороне корпуса


Вакуумный ввод


2 ¾-дюйма ConFlat, присоединён к головке датчика. Коаксиальные трубки и трубки для воды полужёсткие, легко изменяют форму (мин. радиус изгиба 50,8 мм)


Коммуникации


Мин. расход воды 150-200 куб.см./мин. при температуре не более 30 °C (не допускать замерзания). Пользователь обеспечивает средства беспрепятственного отсоединения трубок ¼ дюйма для воды в процессе прогрева



Материалы


Корпус и держатель


Нержавеющая сталь типа 304


Пружины


Молибден, инконель X-750


Коаксиальные трубки и трубки для воды


Бесшовная трубка (для воды) из нержавеющей стали 304 с наружным диаметром 3 мм и толщиной стенки 0,4 мм; коаксиальная трубка наружным диаметром 5 мм


Другие механические части


Нержавеющая сталь 304 или 18-8


Изоляторы


> 99 % AI90, в вакууме; в других местах используется высокоплотная керамика


Провод


1) никелевый (в вакууме)
2) омеднённый никелевый (в других местах)



Термостойкий датчик с затвором серии BK-A1F


Макс. температура


450 °C в течение длительного времени (только для прогрева, подача воды требуется для контроля реального процесса напыления)


Размер головки датчика (макс. огибающая)


34 мм х 35 мм х 31 мм (высота)


Замена кристалла


Фронтальная установка; моноблочная конструкция для облегчения замены. Блокирующая рукоятка кулачкового типа облегчает извлечение и обеспечивает эффективную теплопередачу. Затвор с пневматическим приводом откидывается вверх для облегчения замены кристалла.


Установка


а) Стандартная – четыре #4-40 резьбовых отверстия на задней стороне корпуса
б) По заказу – прямоугольный держатель, IPN 007-108


Вакуумный ввод


2 ¾-дюйма ConFlat®, присоединён к головке датчика Коаксиальные трубки и трубки для подачи воды и воздуха полужёсткие, легко изменяют форму (мин. радиус изгиба 50,8 мм)


Коммуникации


1) Мин. расход воды 150-200 куб.см./мин. при температуре не более 30 °C (не допускать замерзания). Пользователь обеспечивает средства беспрепятственного отсоединения трубок ¼ дюйма для воды в процессе прогрева.
2) Фильтрованный воздух без примеси масла, регулируемый расход в диапазоне от 80 psig (5,5 бар) [552 кПа] до 100 psig (6,895 бар) [689,5 кПа]
3) Пневматический клапан управления затвором, 750-420-G1, 24 В постоянного или переменного тока; или требуется аналогичный клапан



Материалы


Корпус и держатель


Нержавеющая сталь типа 304


Пружины


Молибден, инконель X-750


Коаксиальные трубки и трубки для воды и воздуха


Бесшовная трубка (для подачи воды и воздуха) из нержавеющей стали 304 с наружным диаметром 3 мм и толщиной стенки 0,4 мм; коаксиальная трубка наружным диаметром 5 мм


Другие механические части


Нержавеющая сталь 304 или 18-8


Изоляторы


> 99 % AI90, в вакууме; в других местах используется высокоплотная керамика


Провод


1) никелевый (в вакууме)
2) омеднённый никелевый (в других местах)


Твёрдый припой


Жаропрочный сплав Ni-Cr для работы в вакууме


Кристалл


Диаметр 13,97 мм



Список запасных частей


Номер для заказа


Описание


007-064


Керамический держатель


007-094


Фиксирующая пружина


007-095


Ручка


007-098


Охватывающее соединение (с уплотнительными кольцами и гайкой)


007-099


Прогреваемый контакт головки


007-100


Изолятор для BNC


007-103


Изолятор для прогреваемого контакта головки


007-104


Корпус BNC


007-155


Паяный узел – 30,5 см


007-156


Паяный узел – 50,8 см


007-157


Паяный узел – 76,2 см


007-147


Винт #4-40 x 3/8


007-007


Пружинный замок (деталь держателя кристалла)


007-228


Винт #4-40 x 5/8


059-0084


Прокладка VCR


070-0201


#4 пружинная шайба


007-267-P2


Распорка


007-268-P1


Шайба с буртиком


007-269-P1


Шайба с буртиком


084-069-P1


Винт #4-40 x 3/16


750-018-P3


Разъёмный хомут


750-018-P5


Разъёмный хомут


750-022-G5


Сильфонный узел – 30,5 см


750-022-G6


Сильфонный узел – 50,8 см


750-022-G7


Сильфонный узел – 76,2 см


750-028-G5


Паяный узел с воздухопроводной трубкой – 30,5 см


750-028-G6


Паяный узел с воздухопроводной трубкой – 50,8 см


750-028-G7


Паяный узел с воздухопроводной трубкой – 76,2 см


750-115-P4


Муфта


750-118-P4


Опора привода


750-120-G3


Шток в сборе


750-216-G1


Затворный узел


750-218-G1


Держатель кристалла



Габаритные размеры


Комбинация датчика серии BK-AOF с вакуумным вводом

термостойкий 1.jpg


Комбинация датчика серии BK-A1F с вакуумным вводом

термостойкий 2.jpg


Спецификация длины датчика BK-AOF и BK-A1F, используемого в комбинациях с вакуумным вводом

термостойкий 3.jpg