Фронтальный однокристальный датчик

Датчик однокристальный

Фронтальный однокристальный датчик INFICON обеспечивает подтверждённые испытаниями надёжность и долговечность, а также имеет наилучшую тепловую стабильность по сравнению с любой другой головкой датчика, имеющейся на рынке. Конструкция с фронтальной установкой обеспечивает лёгкую установку держателя кристалла в тех приложениях, где недостаточно пространства для установки сбоку. Соединения деталей конструкции в основном механические, а не паяные, поэтому детали без труда можно заменить на месте эксплуатации при необходимости. Датчики можно заказывать отдельно или в комбинации с вакуумным вводом, присоединение которого может быть сварным или с помощью обжимного фитинга.


Конфигурации датчика


Изготавливаются датчики двух конфигураций: стандартная и прямоугольная (компактная) модели. Стандартная модель предназначена для установки сбоку или снизу камеры, в которой охлаждающие трубки расположены параллельно грани кристалла. Прямоугольная модель предназначена для установки сверху вакуумной камеры, в которой трубки с охлаждающей водой расположены перпендикулярно грани кристалла. По выбору, можно заказать датчики с затвором кристалла с пневматическим приводом для защиты кристалла во время нагрева источника, когда он не используется во время напыления другого материала или для продления срока службы кристалла с помощью RateWatcher™. Затвор сконструирован так, чтобы откидываться вниз, облегчая замену кристалла.
Подвергающийся воздействию электрод кристалла полностью заземлён для эффективного предотвращения возможных проблем из-за электромагнитных помех.


Вакуумные вводы


Предлагаем вакуумные вводы двух типов: с 1-дюймовым резьбовым соединением или 2 ¾-дюймовым (CF40) фланцем ConFlat®. Можно заказать вакуумные вводы с фланцем KF40.


Присоединение вакуумного ввода


Фронтальные однокристальные датчики можно заказать в комбинации с вакуумным вводом. Соединение вакуумного ввода с датчиком может быть сварным или выполнено с помощью обжимного фитинга. Обжимные фитинги облегчают регулировку, не требуя пайки и сварки. Вакуумный ввод можно смещать вдоль трубок, что позволяет регулировать длину внутри вакуумной системы в диапазоне 20,3-71,1 см для датчиков с обозначением «Е» для диапазона длины и в диапазоне 20,3-121,9 см для датчиков с обозначением «G» для диапазона длины. После определения нужной длины, обжимные фитинги позволяют выполнить герметичное присоединение усилием от руки. Другим вариантом присоединения может быть сварное соединение. Если требуется сварное соединение, обращайтесь к специалистам "ЭмЭсЭйч Техно".


Каталог по контроллерам и кварцевым измерителям толщины тонких пленок Inficon (PDF, Русский, 6 МБ)


Преимущества

Датчик компактный

- Держатель кристалла с фронтальной установкой
- Простая установка
- Варианты вакуумного ввода:
1-дюймовое резьбовое соединение
Фланец CF40
- Регулируемая длина при заказе с обжимными фитингами
- Комбинации вакуумного ввода с датчиком со сварным соединением, согласно спецификации длины, указанной заказчиком
- При заказе с обжимными фитингами или сварным соединением вакуумного ввода никакой пайки не требуется


Информация для заказа


Фронтальный однокристальный датчик (с кабелями для вакуума)


Для заказа Вам нужно составить код, вставив в формулу вместо букв a , b, c, d, e нужные цифры.


S


L


-


a


b


c


d


e



a


Тип датчика (включает кабель для вакуума, выталкиватель кристалла и руководство пользователя. Кристаллы приобретают отдельно)
стандартный датчик (трубки с водой параллельны грани) – A
прямоугольный датчик (трубки с водой перпендикулярны грани) - B


b


Затворный узел – см. примечание 4
Нет - 0; стандартный затвор - 1


с


Длина датчика – см. примечания 1 и 3 стандартная длина: 203-711 мм. В комплекте кабель для вакуума 781 мм. см. примечание 6 – E
удлинённый вариант: больше 711 мм; макс. 1219 мм. В комплекте кабель для вакуума 781 мм. см. примечание 6 - G


d


Вакуумный ввод – см. примечание 2
Нет – 0; 1-дюймовое резьбовое соединение – 3; CF40 - 4


e


Присоединение вакуумного ввода – см. примечание 4
датчик не соединён с вакуумным вводом 0; сварное соединение датчика с вакуумным вводом -7; Регулируемая длина с обжимными фитингами Ultra-Torr®. (Возможность регулирования длины датчика, используя обжимные фитинги Ultra-Torr®) - 8



Не поставляются (см. примечания 4 и 5) следующие комбинации: SL-A1E38, SL-A1G38, SL-B1E38, SL-B1G38, SL-A1E47, SL-A1G47, SL-B1E47,SL-B1G47. Возможна поставка компонентов по заказу, с особыми изгибами и другие нестандартные компоненты – обращайтесь к изготовителю.


Примечание 1:
Заказы на датчики со сварным соединением с вакуумным вводом принимаются только при условии получения компанией INFICON чертежа с указанием размеров, подписанного заказчиком. После подтверждения особой длины или запуска заказа в производство, заказ отменить нельзя. Компания INFICON предоставляет форму спецификации длины датчика.
Примечание 2:
Конфигурация вакуумного ввода меняется в зависимости от выбранных вариантов (с затвором или без, тип вакуумного ввода и т. д.). Пример. SL-A0E37 использует вакуумный ввод, номер для заказа 002-042, а SL-A1E37 использует вакуумный ввод, номер для заказа 750-030-G1.
Примечание 3:
Длина датчика измеряется от центра кристалла до уплотняющей поверхности вакуумного ввода со стороны вакуума (см. чертёж).
Примечание 4:
При заказе датчиков с затворами и вакуумным вводом с 1-дюймовым резьбовым соединением, соединение может быть только сварным (с обжимными фитингами не изготавливаются).
Примечание 5:
При заказе датчиков с фронтальной установкой в комбинации с вакуумным вводом с фланцем CF40 и затвором, соединение не может быть сварным из-за пространственных ограничений фланца CF40.
Примечание 6:
При заказе датчиков без сварного присоединения (вариант «0» или «8» заказа), трубки изготавливаются длиной 762 мм для диапазона длины «Е» и 1219 мм для диапазона длины «G» датчиков. Использование кабеля длиной 1524 мм может потребовать применение специального генератора.


Технические характеристики


Стандартный однокристальный датчик серии SL-A


Макс. температура прогрева без водяного охлаждения


130 °C


Макс. температура рабочей изотермической среды при минимальном расходе охлаждающей воды


400 °C


Размер SL-A (макс. огибающая без затвора)


27 мм х 61,47 мм х 17,53 см


Трубка для воды


наружный диаметр 3,175 мм, бесшовная из нержавеющей стали


Замена кристалла


фронтальная установка; моноблочная конструкция для облегчения замены


Установка


два #4-40 резьбовых отверстия на задней стороне корпуса датчика



Требования установки


Вакуумный ввод


2 проходных фитинга для присоединения трубки подачи воды с наружным диаметром 4,8 мм и коаксиальным соединителем Microdot®


Расход воды


мин. расход воды 150-200 куб.см./мин. при температуре не более 30 °C (не допускать замерзания)


Качество воды


хладагент не должен содержать хлориды поскольку может возникнуть коррозионное растрескивание. Сильно загрязнённая вода может уменьшить охлаждающую способность



Материалы


Корпус и держатель


Нержавеющая сталь типа 304


Пружины, электрические контакты


Позолоченный сплав бериллия и меди


Трубки для воды


Бесшовная трубка из нержавеющей стали 304 с наружным диаметром 3,175 мм и толщиной стенки 0,381 мм


Соединитель (Microdot)


Нержавеющая сталь, покрытие Teflon® или стекло


Провод


Медь, покрытая тефлоном


Изоляторы


> 99 % Al2O3


Твёрдый припой


Жаропрочный сплав Ni-Cr для работы в вакууме


Кристалл


Диаметр 13,97 мм


схема

Прямоугольный однокристальный датчик серии SL-В


Макс. температура прогрева без водяного охлаждения


130 °C


Макс. температура рабочей изотермической среды при минимальном расходе охлаждающей воды


400 °C


Размер SL-B


1.11" x 1.06" x 1.06"


(макс. огибающая без затвора)


28,19 х 26,92 х 26,92 мм


Трубка для воды


Наружный диаметр 3,175 мм, бесшовная из нержавеющей стали


Замена кристалла


Фронтальная установка; моноблочная конструкция для облегчения замены


Установка


Два #4-40 резьбовых отверстия на задней стороне корпуса датчика



Требования установки


Вакуумный ввод


2 проходных фитинга для присоединения трубки подачи воды с наружным диаметром 4,8 мм и коаксиальным соединителем Microdot®


Прочее


Генератор или XIU, подходящий для конкретного контроллера, клапанный блок 750-420-G1 для датчиков с затвором


Расход воды


Мин. расход воды 150-200 куб.см./мин., температура не более 30 °C


Качество воды


Хладагент не должен содержать хлориды, поскольку может возникнуть коррозионное растрескивание. Сильно загрязнённая вода может уменьшить охлаждающую способность



Материалы


Корпус и держатель


Нержавеющая сталь типа 304


Пружины, электрические контакты


Позолоченный сплав бериллия и меди


Трубки для воды


Бесшовная трубка из нержавеющей стали 304 с наружным диаметром 3,175 мм и толщиной стенки 0,381 мм


Соединитель (Microdot)


Нержавеющая сталь, покрытие Teflon® или стекло


Изоляторы


> 99 % Al2O3


Провод


Медь, покрытая тефлоном


Твёрдый припой


Жаропрочный сплав Ni-Cr для работы в вакууме


Кристалл


Диаметр 13,97 мм



Технические характеристики вакуумного ввода


Примечание. Технические характеристики комбинации вакуумного ввода с датчиком определяются худшими характеристиками каждого компонента.


Соединительная часть под обжимной фитинг или 1-дюймовое резьбовое соединение:


Материалы


Нержавеющая сталь 304, Teflon®, керамика, никель-бериллий, VITON®


Температура


Температура рабочей среды до 300 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения


Установка


Диаметр отверстия 1,015" ± 0,010"



Соединительная часть под приваренный фланец CF 40


Материалы


Нержавеющая сталь 304, Teflon®, керамика, никель-бериллий


Температура


Температура рабочей среды до 450°C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения


Установка


Под фланцы 2 ¾ типа ConFlat с мин. внутренним диаметром 1,375"



Список запасных частей


007-007


Пружинный замок (для держателя кристалла)


007-023


Керамический держатель


007-044


Кабель для вакуума, 78,1 см


080-018


Установочный винт (для коаксиального соединителя розеточного типа)


082-044


Тефлоновый винт (для плоской пружины)


750-115-P4


Муфта (для сильфонного узла)


750-169-P2


Сильфонный узел (без муфты)


750-171-P1


Кнопочный пружинный контакт


321-039-G13


Кабель для вакуума, 154,2 см


750-172-G1


Держатель кристалла (с пружинным замком)


750-174-P2


Коаксиальный соединитель розеточного типа


750-175-P1


Изолятор (под плоской пружиной)


750-188-P2


Плоская пружина


750-210-G1


Блок затвора (сильфонный узел, шток в сборе и затворный узел)


750-215-G1


Шток в сборе (часть блока затвора)


750-216-G1


Затворный узел (часть блока затвора)



Габаритные размеры


Стандартный однокристальный датчик серии SL-A_E (только датчик)


фод 1-01.jpg


фод 1-02.jpg

Прямоугольный однокристальный датчик серии SL-B_E__ (только датчик)


Фронтальный однокристальный датчик


Вакуумный ввод, используемый в следующих комбинациях с датчиками: SL-A0_47, SL-A0_40, SL-B0_47 и SL-B0_40


Фронтальный однокристальный датчик


Вакуумный ввод, используемый в следующих комбинациях с датчиками: SL-A1_40 и SL-B1_40


Вакуумные напылительные установки


Вакуумный ввод, используемый в следующих комбинациях с датчиками: SL-A0_48 и SL-B0_48


Вакуумные напылительные установки


Вакуумный ввод, используемый в следующих комбинациях с датчиками: SL-A1_48 и SL-B1_48


Вакуумные напылительные установки


Вакуумный ввод, используемый в следующих комбинациях с датчиками: SL-A0_37, SL-B0_37, SL-A0_30 и SL-B0_30

Вакуумные напылительные установки

Вакуумный ввод, используемый в следующих комбинациях с датчиками: SL-A0_38 и SL-B0_38

Вакуумные напылительные установки

Вакуумный ввод, используемый в следующих комбинациях с датчиками: SL-A1_37, SL-B1_37, SL-A1_30 и SL-B1_30


Вакуумные напылительные установки


Напылительные установки


Спецификация длины датчика SL-A_ _ _ _, используемого в комбинациях с вакуумным вводом

Напылительные установки

Спецификация длины датчика SL-B_ _ _ _, используемого в комбинациях с вакуумным вводом


Напылительные установки