Вакуумметр Пеннинга PEG100


641x80px.jpg


PEG100_Inficon.jpgВакуумметр Пеннинга PEG100 компании INFICON обеспечивает достоверное измерение высокого вакуума. В надёжном датчике Пеннинга с холодным катодом не используется нить накала, которая перегорает время от времени. Использование титановых пластин в качестве катода и снижение высокого напряжения после зажигания плазмы позволяет применять данный вакуумметр также в техпроцессах распыления. Дополнительный интерфейс промышленной сети и выходной аналоговый логарифмический сигнал позволяют легко интегрировать вакуумметр в вакуумные системы, используя передачу данных по протоколу Profibus DP или DeviceNet.


Преимущества вакуумметра Пеннинга


- Широкий диапазон измерения 1x10-9-1x10-2 мбар (7,5x10-10-7,5x10-3 торр)
- Полностью металлический датчик с холодным катодом (Пеннинга) с керамическим вакуумным вводом
- Инновационная геометрия электродов обеспечивает превосходные свойства процесса зажигания плазмы
- Понижение высокого напряжения после зажигания плазмы и катодные пластины из титана уменьшают вероятность загрязнения даже при использовании в техпроцессе распыления в среде аргона
- Анодное кольцо и титановый катод можно легко очистить или заменить
- Напряжённость магнитного поля вокруг вакуумметра сведена к минимуму
- СИД для индикации подачи электропитания и зажигания плазмы
- Выходной аналоговый логарифмический сигнал
- Интерфейс промышленной сети (Profibus DB, DeviceNet) для облегчения интеграции в вакуумные системы, используя передачу данных по сети


Области применения вакуумметра Пенинга


- Мониторинг высокого вакуума
- Системы распыления и напыления
- Измерение и контроль вакуума в диапазоне от среднего до высокого вакуума


Информация для заказа


Тип

PEG100

PEG100-D

с DeviceNetTM

PEG100-P

с Profibus DPTM

DN 25 ISO-KF

351-000

351-003

351-005

DN 40 CF-R

351-002

351-004

-

Сменные катодные пластины, титан

Комплект (5 шт.)

351-490

351-003

351-003


Технические характеристики



PEG100

Диапазон измерения

мбар

торр

1 x 10-9 до 1 x 10-2

7.5 x 10-10 до 7.5 x 10-3

Точность, 10-8 до 10-4 мбар, % от показания

±30

Давление, макс. (абс.), бар

10

Допустимая температура


Эксплуатация (окружающая среда), °C

+10 … +50

Хранение, °C

-20 … +75

Прогрев без электроники , °C

350

Прогрев с электроникой, на фланце, °C

70

Источник питания

Напряжение, В, пост. ток

14.5 to 36

Потребление, макс., Вт

<2

Аналоговый выходной сигнал, В

0 до 10.6

Диапазон измерения, В

0.66 to 10

Зависимость напряжения от давления, В / декада

1.333

Соединитель

FCC 68, 8-контактный, розетка, экранированный

Макс. длина кабеля (аналоговый сигнал), м (фут)

100 (330)

Материалы, соприкасающиеся с областью вакуума

нержавеющая сталь, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti

Внутренний объём, см3 (дюйм3)

21 (1.28)

Прибл. масса, г

500

Степень защиты

IP 40


Технические характеристики PEG100-D DeviceNet™



PEG100-D DeviceNet™

Тип прибора

универсальный

Явная передача данных между равноправными узлами

нет

Операции ввод-вывод между равноправными узлами

нет

Показатель согласованности конфигурации

нет

Восстановление узла после ошибки

нет

Скорости передачи, Кбод

125 / 250 / 500

Ведущий/опрашивающее устройство

нет

Обмен сообщениями с ведомым (ввод-вывод)

Строб данных

да

Последовательный опрос

да

Циклический

да

Изменение состояния (COS)

да

Источник питания для DeviceNet™, В, пост. ток

11 до 25

Электрический соединитель для DeviceNet™

Phoenix Combicon, 5-контактный


Технические характеристики PEG100-P Profibus DP™



PEG100-P Profibus DP™

Поддерживаемые скорости передачи данных (автовыбор), Кбод

9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 / 1500

Расширенные данные параметров пользователя, Байт

5

Настройка

Число данных ввода-вывода

2

Режим синхронизации и режим приостановки

Да

Соединитель

D-sub, 9-контактный



Каталог вакуумметров, датчиков вакуума и блоков индикации Inficon (Лихтенштейн) на русском языке