Расходные материалы и запчасти для техпроцесса и установок Auto306 и Auto500


napylilki1.png
Лодочки, нити накала, корзинки, кристаллы для контроля толщины напыления и футеровка тиглей для электронно-лучевого напыления

Компания HHV Ltd предлагает целый ряд расходных материалов для технологического процесса, запчастей и вспомогательных устройств для вашей системы нанесения покрытий.


Номенклатура расходных материалов для технологического процесса была специально подобрана для использования вместе с оригинальными резистивными и электронно-лучевыми источниками установок E306, Auto306 и Auto500.


Поставляются дополнительные или сменные приспособления для технологического процесса, такие как держатели нитей накала, нагреватели подложек и подложкодержатели, изготовленные по оригинальным чертежам с соблюдением стандарта качества компании Edwards. Вы можете заменить изношенные приспособления новыми или усовершенствовать вашу установку, добавив дополнительные или альтернативные источники.


Каталог установок нанесения тонких пленок HHV


HHV Ltd может также предоставить расходные материалы для более старых установок Edwards, таких как S150B, E306, 12E, 19E, E610 – пожалуйста, свяжитесь с специалистами «ЭмЭсЭйч Техно» , если у вас есть особые требования.

Вольфрамовые нити накала Вольфрамовые корзинки Вольфрамовые, молибденовые и танталовые лодочки

Вольфрамовые нити накала

Вольфрамовые корзинки

Вольфрамовые, молибденовые и танталовые лодочки


Тип

Описание

A
(мм)

B
(мм)

C
(мм)

D
(мм)

Типовой
ток (A)

Номер
детали

Соответствующий
номер по номенклатуре
Edwards

WA2

Вольфрамовая нить накала

75

4,8

25

-

40-60

100102

H01401002

WA4

Вольфрамовая нить накала

75

6

25

-

40-60

100104

H01401003

WB2

Вольфрамовая корзинка

75

4,8

12

-

40-60

100152

H01401022

WB6

Вольфрамовая корзинка

75

13

12

-

80-100

100156

H01401023

MC1

Молибденовая лодочка с углублением

50

5

1,5

6

60-70

100201

H01401040

WC1

Вольфрамовая лодочка с углублением

50

5

1,5

6

70-80

100202

-

TC1

Танталовая лодочка с углублением

50

5

1,5

6

50-60

100203

-

MC3

Молибденовая лодочка с углублением

50

9

3

10

100-120

100301

H01401041

WC3

Вольфрамовая лодочка с углублением

50

9

3

10

140-150

100302

-

TC3

Танталовая лодочка с углублением

50

9

3

10

100-120

100303

-


Футеровка тигеля электронно-лучевого источника EB3 и нити накала

napylilki


Эти футеровки тигеля электронно-лучевого источника EB3 специально подобраны для компактного электронно-лучевого источника EB3. В наличии есть футеровки из графита, молибдена, нитрида бора, интерметаллических соединений и оксида алюминия.



Мы предлагаем сменные нити накала для источника EB3. Нить накала EB3 также подходит для более старого источника Edwards EB1.



Тип

Описание

Номер
детали

Соответствующий
номер по номенклатуре
Edwards

4CCGR

Графитовая футеровка для источника EB3 с тиглем объемом 4куб.см

100401

E09088030

4CCMO

Молибденовая футеровка для источника EB3 с тиглем объемом 4куб.см

100402

E09088031

4CCBN

Футеровка из нитрида бора для источника EB3 с тиглем объемом 4куб.см

100403

-

4CCIN

Интерметаллическая футеровка для источника EB3 с тиглем объемом 4куб.см

100404

E09088032

4CCAO

Футеровка из оксида алюминия для источника EB3 с тиглем объемом 4куб.см

100405

-

EB3FIL

Нить накала для источника EB3 (также подходит для EB1)

100411

E03615005


Кварцевые кристаллы для контроля толщины напыления

napylilki


Кварцевые кристаллы высокого качества, диаметром 14 мм и частотой стабилизации 6 МГц предназначены для использования в составе устройств контроля толщины пленки FTM5, FTM6 и FTM7.


Надежные и качественные кварцевые кристаллы производства HHV также используются в составе устройств контроля и контроллерах, изготовленных компаниями Sigma, Inficon и другими производителями. Компания HHV выпускает кварцевые кристаллы с покрытием из золота и серебра.



Тип

Описание

Номер
детали

Соответствующий
номер по номенклатуре
Edwards

CRYS01

Кварцевый кристалл диаметром 14мм, с частотой 6МГц, покрытый золотом

300021

E08668000

CRYS02

Кварцевый кристалл диаметром 14мм, с частотой 6МГц, покрытый серебром

300022

-


Запасные части и вспомогательные устройства


Код
оригинального
изделия

Описание

D15701042

Фторопластовая прокладка Scancoat6

E00100202

Нитриловая прокладка Scancoat6

E00100234

Изолирующая втулка излучателя с фланцем

E02512000

Набор куполообразных вакуумных колпаков

E02701003

Угольный стержень 6,35 X длина 120мм

E02703004

Металлокерамический под 6-позиционный EBS, комплект из 5 шт.

E03300012

Изолирующая втулка

E03615005

Нить накала для источников EB1/EB3, комплект из 10 шт.

E03615015

Магнит для источника с отклоняющимся лучом

E03615017

Интерметаллический под футеровки

E03615018

Медный под тигля для источника с отклоняющимся лучом

E03615021

Графитная футеровка пода для источника с отклоняющимся лучом

E03619015

Нити накала для 6-позиционного EBS, комплект из 5 шт.

E04805011

Прокладка 12" Витон для камеры E306 / Auto306

E05201000

Охлаждающий палец для образца

E06900067

Закрытая защита от раздавливания E306A

E06900155

Открытая защита от раздавливания E306A

E06902002

Стеклянный цилиндр рабочей камеры 12" x 14" E306A

E08508040

Формообразующее устройство для угольного стержня размером 3mm

E08519011

Неподвижный цанговый зажим 6,35мм

E08519012

Подвижный цанговый зажим 6,35мм

E08519013

Подвижный цанговый зажим 3мм

E08519015

Пружинный графитовый источник-испаритель

E08519018

Слюдяной изолятор C Evs

E08519022

Неподвижный цанговый зажим 3мм

E08519030

Угольный стержень 3мм X 300мм, комплект из 20 шт.


Напыление тонких пленокГрафитовый источник-испаритель E09039000
Одиночный резистивный источник E09028000 Графитовый источник-испаритель E09039000

Код
оригинального
изделия

Описание

E08535000

Магнитный держатель сетки ПЭМ для Rotatilt3

E08569003

Кабельная оплетка в сборе

E08570011

Электромотор и коробка подач Rotatilt 3

E08571000

Держатель сетки ПЭМ размером 3mm для Rotatilt 3

E08572000

Планетарный подложкодержатель СЭМ для Rotatilt 3

E08573000

Плоский подложкодержатель для Rotatilt3

E08664000

Устройство контроля толщины пленок FTM6

E08666000

Генератор и кабель FTM5/FTM6/FTM7

E08667000

Кварцедержатель FTM5/FTM6/FTM7

E08667002

Кабельная сборка, длина 750мм

E08667018

Запасной пружинный держатель

E08668000

Запасные кристаллы FTM5/6/7, комплект из 5 шт.

E08669000

Устройство контроля толщины пленок FTM7

E08703047

Стеклянный цилиндр S150A/B ETD4 Scancoat 6

E08703048

Защита от раздавливания для S150A

E08712072

Медная мишень для Scancoat 6 и S150B

E08732000

Платиновая мишень для Scancoat 6 и S150B

E08733000

Золотая/палладиевая мишень, SC6 и S150B

E08734000

Железная мишень для Scancoat 6 и S150B

E08741000

Заслонка для Scancoat 6 и S150B

E08742000

Держатель металлургических образцов для S150B

E09020000

Подъемник куполообразных вакуумных колпаков для Auto306

E09021000

Устройство тлеющего разряда Plasmaglo

E09022000

Тренога


napylilki


Электронно-лучевой источник EB3 E09072000, запасные части и вспомогательные устройства


Код
оригинального
изделия

Описание

E09023000

Отражательная плита

E09024000

Кварцевый ламповый нагреватель мощностью 500Вт

E09025000

Шина постоянного тока устройства тлеющего разряда

E09026000

Радиационный нагреватель для Auto 306

E09027000

Набор стеклянных цилиндрических камер для Auto 306

E09028000

Держатель нитей накала для Auto 306

E09029000

Привод подложкодержателя Rotatilt 3

E09032000

Заслонка источника с ручным приводом

E09033000

Многопозиционный переключатель низкого напряжения

E09035000

Регулятор тока ВН/НН

E09037018

Изолятор Pvzm0300

E09037019

Изолятор Pvzm0301

E09037026

Интерметаллический под, комплект из 5 шт.

E09038000

Резистивный источник на четырехпозиционном поворотном столике

E09038018

Изолятор, наружная часть с разъемной втулкой

E09038019

Изолятор, внутренняя часть с разъемной втулкой

E09038029

Запасная гибкая муфта

E09039000

Графитовый источник-испаритель

E09044000

Электромагнитный привод заслонки

E09045000

Контроллер электромагнитной заслонки источника

E09046000

Электронно-лучевой источник EB1

E09049000

Поворотный подложкодержатель для Auto306

E09049000

Поворотный подложкодержатель 260мм

E09052000

Блок питания ВН для Auto 306

E09058000

Кольцо подложкодержателя

E09060000

Блок питания на 3кВт для EB3, 50Гц

E09061000

Блок питания на 3кВт для EB3, 60Гц

E09062000

Противовес верхней плиты

E09063000

Трансформатор НН 100A/200A

E09064000

Трансформатор НН 10В 90A/30В 30A

E09065000

Комплект для автоматического газоотвода

E09066000

Купол подложкодержателя

E09070000

Трансформатор НН 350A


napylilkinapylilki
Вакуумные вводы E10014000 и E10034000 Изоляторы E09038018 и E09038019


Код
оригинального
изделия

Описание

E09072000

Электронно-лучевой источник-испаритель EB3

E09080000

Комплект вводов для EB3

E09081000

Датчик расхода воды для EB3

E09082000

Блок развертки луча по X-Y

E09083000

Комплект электроприводов поворотного столика для EB3

E09084000

Комплект ручных приводов для EB3

E09088030

Графитовая футеровка для тигля объемом 4куб.см

E09088031

Молибденовая футеровка для тигля объемом 4куб.см

E09088032

Интерметаллическая футеровка для тигля объемом 4куб.см

E09090000

Камера FL400 с фронтальной загрузкой

E09091000

Футеровки камер для FL400

E09092000

Вспомогательное перископное оборудование

E09093000

Комплект для бокового монтажа EB3 для камеры FL400

E09303000

Магнетронный источник EPM75

E09304000

Магнетронный источник EPM100

E09702001

Конический алюминиевый тигель объемом 2куб.см

E09702002

Конический алюминий-нитридный тигель объемом 2куб.см

E09702003

Конический бор-нитридный тигель объемом 2куб.см

E09702011

Цилиндрический алюминиевый тигель объемом 2куб.см с кварцевой вставкой

E09702012

Цилиндрический алюминий-нитридный тигель объемом 2куб.см с кварцевой вставкой

E09702013

Цилиндрический бор-нитридный тигель объемом 2куб.см с кварцевой вставкой

E10001001

Заглушка NW10

E10004001

Заглушка NW25

E10014000

Вакуумный ввод НН с клеммой "земля" / "масса"

E10024000

Водоохлаждаемый вакуумный ввод

E10031000

Вакуумный ввод 7EK10

E10034000

Вакуумный ввод 6EK25

E10041040

Поворотный вакуумный ввод 4RK10

E10044040

Поворотный вакуумный ввод 8RK10

E10044120

Поворотный вакуумный ввод 12RK10

E10054000

Вакуумный ввод TL8K25

E10074000

Заземление, удлинитель вакуумного ввода 6EK25

E10074005

Удлинитель вакуумного ввода 10EK25